[發(fā)明專利]一種磁記錄用鈦鉻合金濺射靶材的制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110349467.7
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113088900A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;曹歡歡
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22C14/00;C22C27/06
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種磁記錄用鈦鉻合金濺射靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：

將鉻粉以及鈦粉在保護(hù)氣體下進(jìn)行混合，得到混合粉末；將混合后的粉末裝入模具進(jìn)行脫氣處理，脫氣后進(jìn)行熱等靜壓處理，得到所述鈦鉻合金濺射靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合粉末中鈦粉的含量為13～95at％；

優(yōu)選地，所述鉻粉和鈦粉的粒徑分別獨立地為30～100μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述保護(hù)氣體的壓力為0.02～0.06MPa；

優(yōu)選地，所述保護(hù)氣體包括氮氣、氦氣或氬氣中的任意一種或至少兩種的組合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合在V型混粉機中進(jìn)行。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述V型混粉機的轉(zhuǎn)速為5～15rpm；

優(yōu)選地，所述混合的時間為18～32h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述脫氣的溫度為300～600℃；

優(yōu)選地，所述脫氣的時間為4～8h。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述脫氣后模具中的真空度小于5.0×10^-3Pa。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理的溫度為600～1200℃；

優(yōu)選地，所述熱等靜壓處理的壓力為90～170MPa；

優(yōu)選地，所述熱等靜壓處理的時間為3～6h。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理后對得到的所述鈦鉻合金濺射靶材進(jìn)行機加工、檢測、清洗和包裝。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：

將粒徑為30～100μm的鉻粉以及鈦粉按照質(zhì)量比(3～7):(7～3)在保護(hù)氣體下在V型混粉機中進(jìn)行混合，所述V型混粉機的轉(zhuǎn)速為5～15rpm，所述混合的時間為18～32h，保護(hù)氣體的壓力為0.02～0.06MPa，得到混合粉末；將混合后的粉末裝入模具300～600℃下進(jìn)行脫氣處理4～8h，所述脫氣后模具中的真空度小于5.0×10^-3Pa，脫氣后在600～1200℃以及90～170MPa進(jìn)行熱等靜壓處理3～6h，得到所述鈦鉻合金濺射靶材。