[發(fā)明專利]一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110345632.1
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN112963498B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設計）人: 龔珍彬;張俊彥;周妍
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘭州化學物理研究所
• 主分類號: F16F15/02
• 分類號: F16F15/02;F16L27/10;F16L55/02;G01N25/00;G01N19/00
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 曹向東

1.一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)包括隔振地基Ⅰ（1）、隔振地基Ⅱ（2）、外部循環(huán)管路系統(tǒng)、內循環(huán)管路系統(tǒng)、制冷機（9）和真空腔體（13）；所述隔振地基Ⅰ（1）與所述隔振地基Ⅱ（2）之間設有間隙；所述隔振地基Ⅰ（1）上設有支撐架（25），該支撐架（25）上固定有真空腔體頂法蘭（12）；所述真空腔體頂法蘭（12）與所述真空腔體（13）相連，該真空腔體（13）內設有一級冷屏（24）；所述一級冷屏（24）內設有二級冷屏（23），該二級冷屏（23）內設有連接在一起的回熱換熱器（19）、氦池（20）、負載測試平臺（22）；所述隔振地基Ⅱ（2）上設有制冷機支撐架（26），該制冷機支撐架（26）上固定有制冷機安裝法蘭（8）；所述制冷機安裝法蘭（8）分別與所述真空腔體頂法蘭（12）、所述制冷機（9）相連，該制冷機（9）分別與所述一級冷屏（24）、所述二級冷屏（23）相連；所述內循環(huán)管路系統(tǒng)由回氣管Ⅰ（3）、進氣管Ⅰ（10）和進氣管Ⅱ（18）組成；所述外部循環(huán)管路系統(tǒng)由回氣軟管（6）、回氣管Ⅱ（4）、抽空泵（28）、氦氣緩沖罐（27）和進氣軟管（5）組成；所述外部循環(huán)管路系統(tǒng)分別與所述內循環(huán)管路系統(tǒng)、所述制冷機（9）相連；所述制冷機（9）的一級冷頭通過制冷機一級冷頭軟連接（14）與一級冷屏頂法蘭（15）連接，該一級冷屏頂法蘭（15）與所述一級冷屏（24）相連，并設有一級冷屏吸附冷阱（7）；所述一級冷屏吸附冷阱（7）與所述進氣軟管（5）相連；所述制冷機（9）的二級冷頭穿過一級冷屏頂法蘭（15）通過制冷機二級冷頭軟連接（16）與二級冷屏頂法蘭（17）連接，該二級冷屏頂法蘭（17）與所述二級冷屏（23）相連；所述制冷機安裝法蘭（8）通過制冷機減振軟連接（11）與所述真空腔體頂法蘭（12）相連；所述回熱換熱器（19）上設有所述進氣管Ⅱ（18），該進氣管Ⅱ（18）的一端穿過二級冷屏頂法蘭（17）并與所述進氣管Ⅰ（10）相連，另一端與所述氦池（20）相連；所述氦池（20）通過負載測試平臺軟連接（21）與所述負載測試平臺（22）相連；所述回氣管Ⅱ（4）的一端依次經所述抽空泵（28）、所述氦氣緩沖罐（27）與所述進氣軟管（5）相連，另一端經所述回氣軟管（6）與所述回氣管Ⅰ（3）相連。

2.如權利要求1所述的一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)，其特征在于：所述隔振地基Ⅰ（1）與所述隔振地基Ⅱ（2）高度相同，且二者之間設有8~12mm的間隙。

3.如權利要求1所述的一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)，其特征在于：所述制冷機（9）的二級冷頭上設有所述進氣管Ⅰ（10），該進氣管Ⅰ（10）的一端穿過所述一級冷屏頂法蘭（15）與一級冷屏吸附冷阱（7）相連，另一端穿過二級冷屏頂法蘭（17）與所述進氣管Ⅱ（18）相連。

4.如權利要求1所述的一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)，其特征在于：與所述二級冷屏頂法蘭（17）相連的所述進氣管Ⅰ（10）的末端管徑形成擴徑，且該擴徑尺寸大于所述進氣管Ⅱ（18）的管徑尺寸。

5.如權利要求4所述的一種10nm級免液氦極低溫減振系統(tǒng)，其特征在于：所述回熱換熱器（19）的外管與所述氦池（20）的入口相接，其內管與所述回氣管Ⅰ（3）相連。