[發明專利]一種用于等離子去膠機機臺的密封圈在審
| 申請號： | 202110330213.0 | 申請日： | 2021-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN113123710A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 唐在峰;昂開渠;許進 | 申請（專利權）人： | 上海華力集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | E06B7/16 | 分類號： | E06B7/16 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴廣志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 等離子 去膠機 機臺 密封圈 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于，至少包括：
T型密封圈；用于鑲嵌所述T型密封圈的槽位；所述T型密封圈的頂部為T型的寬部，所述底部為T型的窄部；所述T型密封圈的寬部嵌于所述槽位的底部；與所述槽位開口部、所述T型密封圈底部緊貼的磁門。
2.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈的高度為5.4mm。
3.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈的寬度為5.4mm。
4.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈的窄部為圓弧形，所述圓弧形的半徑為1.4mm。
5.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈的長度為792.538mm。
6.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈的工差為0.5％。
7.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述T型密封圈為鋁導熱圈。
8.根據權利要求1所述的用于等離子去膠機機臺的密封圈，其特征在于：所述磁門用于隔離真空腔與EFEM微環境區。
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