[發明專利]基于澆筑成型的靜壓氣浮單元及加工方法

有效

• 申請號: 202110307633.7
• 申請日: 2021-03-23
• 公開（公告）號: CN112983990B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 劉延芳;鈕俊濤;穆榮軍;齊乃明;佘佳宇;陳紫軒;倪晨瑞;賈拴立;趙鈞
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學;北京星航機電裝備有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;B28B1/52;B29C67/20
• 代理公司: 哈爾濱華夏松花江知識產權代理有限公司 23213
• 代理人: 楊曉輝

1.基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，包括下開口殼體(1)和供氣接口(2)；

下開口殼體(1)的上表面加工有球窩(1-1)和凸臺(1-2)，且球窩(1-1)位于凸臺(1-2)上；

下開口殼體(1)的上表面還開設有安裝孔(1-3)；

下開口殼體(1)內填充有澆筑體，且下開口殼體(1)的下端面與澆筑體下表面平齊，

澆筑體內密布有N個微細氣孔，且澆筑體上還開設有導氣孔(3-1)，導氣孔(3-1)與微細氣孔連通，同時，導氣孔(3-1)還與安裝孔(1-3)相對設置，且二者孔徑相同；其中，N為大于或等于100的整數；

澆筑體內的微細氣孔是通過腐蝕成型的，微細氣孔的孔徑遠遠小于安裝孔(1-3)的孔徑；

供氣接口(2)的一端設置在導氣孔(3-1)內，其另一端伸出至下開口殼體(1)外部，且供氣接口(2)與澆筑體內的微細氣孔連通。

2.根據權利要求1所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，澆筑體下表面的平面度小于5um。

3.根據權利要求1所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，微細氣孔的孔徑納米量級。

4.根據權利要求1所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，微細氣孔的孔徑范圍10nm至100nm。

5.根據權利要求1所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，凸臺(1-2)位于下開口殼體(1)的上表面的中心位置，球窩(1-1)位于凸臺(1-2)的中心。

6.根據權利要求1所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，其特征在于，球窩(1-1)和凸臺(1-2)二者共軸線。

7.基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工方法，其特征在于，該加工方法是基于下開口殼體(1)和供氣接口(2)實現的；

加工方法的實現過程包括：

步驟一、在下開口殼體(1)的上表面加工有球窩(1-1)和凸臺(1-2)，且球窩(1-1)位于凸臺(1-2)上；

步驟二、根據孔隙率的需要，配比金屬纖維與混凝土或者樹脂的比例，并形成混合材料(3)，并向下開口殼體(1)內澆筑所形成的混合材料(3)，使混合材料(3)填滿整個下開口殼體(1)；

步驟三、待所澆筑的混合材料(3)固化成型后，從下開口殼體(1)的上表面向下鉆孔，并使其所鉆的孔伸入到固化成型后的混合材料(3)內部，并且在下開口殼體(1)的上表面所形成的鉆孔作為安裝孔(1-3)，在固化成型后的混合材料(3)內部所形成的鉆孔作為導氣孔(3-1)；

步驟四、研磨固化成型后的混合材料(3)的下表面，使其下表面的平面度滿足基于澆筑成型的靜壓氣浮單元工作的需要后；

再將固化成型后的混合材料(3)及其所攜帶的下開口殼體(1)放置到腐蝕性溶液中浸泡，使得腐蝕性溶液僅腐蝕固化成型后的混合材料(3)中的金屬纖維，待金屬纖維完全腐蝕后，在固化成型后的混合材料(3)中形成相互連通的微細氣孔，并將具備微細氣孔的固化成型后的混合材料(3)作為澆筑體；

步驟五、將供氣接口(2)插固在導氣孔(3-1)內，從而形成了基于澆筑成型的靜壓氣浮單元，完成了對基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工。

8.根據權利要求7所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工方法，其特征在于，步驟四中，固化成型后的混合材料(3)的下表的平面度小于5um。

9.根據權利要求7所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工方法，其特征在于，步驟四中，腐蝕性溶液為酸性溶液。

10.根據權利要求7所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工方法，其特征在于，金屬纖維的材質為金屬鋁。

11.根據權利要求7所述的基于澆筑成型的靜壓氣浮單元的加工方法，其特征在于，供氣接口(2)遠離下開口殼體(1)上表面的中心位置。