[發(fā)明專利]一種顯示基板及其制作方法

有效

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• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN113097241B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉念;盧馬才
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/15
• 分類號: H01L27/15;G09F9/30
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 張曉薇

本發(fā)明提供一種顯示基板及其制作方法，該顯示基板包括位于基板上的源極和漏極，覆蓋源極和漏極的第一層間介質(zhì)層，位于第一層間介質(zhì)層、源極和漏極上的第一導(dǎo)體層，位于第一導(dǎo)體層上的第一柵極絕緣層，以及位于第一柵極絕緣層上的第一柵極層。其中，第一層間介質(zhì)層在源極和漏極的上方分別具有開孔，使第一導(dǎo)體層可以通過開孔與源極和漏極連接。由于第一導(dǎo)體層作為有源層，同時與源極和漏極連接作為源漏極的導(dǎo)線，因此不需要另外形成源漏極導(dǎo)線，結(jié)構(gòu)簡單。另外，第一層間介質(zhì)層的開孔相對于現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中緩沖層和層間介質(zhì)層的開孔，深度減小，因而可以降低工藝難度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示基板及其制作方法。

背景技術(shù)

作為新興顯示技術(shù)，自發(fā)光顯示器比如微型發(fā)光二極管(Micro Light-emittingDiode,Micro LED)和有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode,OLED)，相較于傳統(tǒng)液晶顯示器(Light Crystal Display,LCD)顯示有較多優(yōu)勢，如較低的功耗，較高的色域，較快的相應(yīng)速率等，被視為較有發(fā)展前景的一種顯示技術(shù)。因此，較多面板廠家參與Micro LED、OLED技術(shù)的開發(fā)之中。受到轉(zhuǎn)移技術(shù)及電流驅(qū)動帶來的影響，MicroLED目前僅能做較小尺寸，若要實(shí)現(xiàn)大尺寸顯示，需要采用拼接的技術(shù)方案。同時，折疊顯示作為新的顯示形態(tài)受到越來越多消費(fèi)者青睞。拼接與折疊均需要采用柔性基板彎折技術(shù)實(shí)現(xiàn)。

現(xiàn)有的頂柵型薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)是先在基板上形成有源層，在有源層上形成層間介質(zhì)層和緩沖層，然后對層間介質(zhì)層和緩沖層打孔形成與有源層連接的源漏極，最后形成與源漏極連接的導(dǎo)線，導(dǎo)致開孔尺寸較深，工藝難度較大，而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種顯示基板及其制作方法，旨在簡化結(jié)構(gòu)，縮小開孔深度，降低工藝難度。

一方面，本發(fā)明提供一種顯示基板，所述顯示基板包括平坦區(qū)和折疊區(qū)，所述平坦區(qū)包括薄膜晶體管區(qū)、電容區(qū)和綁定區(qū)，所述顯示基板在縱向包括：

基板；

位于所述基板上的金屬層，所述金屬層包括位于所述薄膜晶體管區(qū)的源極和漏極；

覆蓋所述源極和所述漏極的第一層間介質(zhì)層，所述第一層間介質(zhì)層在所述源極和所述漏極的上方分別具有開孔；

位于所述第一層間介質(zhì)層、所述源極和所述漏極上的第一導(dǎo)體層，所述第一導(dǎo)體層通過所述開孔與所述源極和所述漏極連接；

位于所述第一導(dǎo)體層上的第一柵極絕緣層；

位于所述第一柵極絕緣層上的第一柵極層。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述金屬層還包括位于所述折疊區(qū)的第一金屬線，所述顯示基板在所述縱向還包括：位于所述第一金屬線上的第二層間介質(zhì)層，位于所述第二層間介質(zhì)層上的第二柵極絕緣層，位于所述第二柵極絕緣層上的第二柵極層，以及覆蓋所述第一金屬線、所述第二層間介質(zhì)層、所述第二柵極絕緣層和所述第二柵極層的有機(jī)層。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述金屬層還包括位于所述折疊區(qū)的第一金屬線，所述顯示基板在所述縱向還包括：位于所述第一金屬線上的第二層間介質(zhì)層，以及覆蓋所述第一金屬線和所述第二層間介質(zhì)層的有機(jī)層。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述顯示基板在所述縱向還包括：位于所述折疊區(qū)的第二柵極絕緣層，位于所述第二柵極絕緣層上的第二柵極層，以及覆蓋所述第二柵極絕緣層和所述第二柵極層的有機(jī)層。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述金屬層還包括位于所述綁定區(qū)的第二金屬線，所述顯示基板在所述縱向還包括：位于所述第二金屬線上的第二導(dǎo)體層，以及位于所述第二導(dǎo)體層上的陽極層。