[發明專利]烘干固化爐裝置和烘干方法

在審

• 申請號: 202110297953.9
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN112964047A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 左國軍;吳勇茂;鐘文魁;羅搏飛;冼志軍
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創智能裝備有限公司
• 主分類號: F26B15/14
• 分類號: F26B15/14;F26B25/18;F26B25/00;F26B25/06;F26B3/02
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰

本發明提供了一種烘干固化爐裝置和烘干方法，固化爐裝置包括：花籃，工件沿第一方向疊放于花籃上，爐體裝置，花籃沿第二方向在爐體裝置內傳送，第一方向和第二方向相垂直。本發明的技術方案中，花籃用于裝載硅片，并將硅片送入爐體裝置進行烘干，當硅片烘干完成后，又將硅片傳送至其他部件，方便硅片進行下一道工序。這樣使得烘干固化爐裝置具有自動烘干硅片的功能，從而滿足設備的自動化要求，同時提高了烘干固化爐裝置的烘干效率。

技術領域

本發明涉及烘干固化爐裝置設備技術領域，具體而言，涉及一種烘干固化爐裝置和烘干方法。

背景技術

目前，相關技術中的烘干固化爐裝置需要人工進行輔助作業，這樣導致烘干固化爐裝置的烘干效率低，進而影響了硅片的產能。以上也就是說，亟待開放一種烘干效率高的烘干固化爐裝置。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。

為此，本發明的一個目的在于提供一種烘干固化爐裝置。

本發明的另一個目的在于提供一種烘干方法。

為了實現上述目的，本發明的實施例提供了一種烘干固化爐裝置，用于烘干工件，固化爐裝置包括：花籃，工件沿第一方向疊放于花籃上，爐體裝置，花籃沿第二方向在爐體裝置內傳送，第一方向和第二方向相垂直。

在該技術方案中，工件層疊放置于花籃上，花籃在爐體裝置內垂直于工件層疊方向傳送。花籃用于裝載硅片，并將硅片送入爐體裝置進行烘干，當硅片烘干完成后，又將硅片傳送至其他部件，方便硅片進行下一道工序。這樣使得烘干固化爐裝置具有自動烘干硅片的功能，從而滿足設備的自動化要求，同時提高了烘干固化爐裝置的烘干效率，本申請中工件可以理解為硅片。

另外，本發明提供的上述實施例中的花籃還可以具有如下附加技術特征：在上述技術方案中，固化爐裝置還包括：機架，包括主容納腔和設置于主容納腔至少一側的側腔內，爐體裝置設置在主容納腔內；升降機構，設置在側腔內；控制系統，與升降機構和爐體裝置連接；其中，花籃沿第一方向放置在升降機構上或者爐體裝置內；控制系統通過控制升降機構動作，以將工件傳送至爐體裝置內進行烘干，或者以將烘干后的工件傳送至其他位置。

在該技術方案中，烘干固化爐裝置利用控制系統控制升降機構動作，將花籃和裝載在花籃內的硅片送入爐體裝置進行烘干，當硅片烘干完成后，又將硅片傳送至其他部件，即上下料機構，便于其下料。這樣使得烘干固化爐裝置具有自動烘干硅片的功能，從而滿足設備的自動化要求，同時提高了烘干固化爐裝置的烘干效率，本申請中工件可以理解為硅片。

在上述任一技術方案中，烘干固化爐裝置還包括回傳機構，回傳機構用于回傳空載的花籃。

在該技術方案中，回傳機構用于接收位于右側的側腔內的升降機構傳送的空載的花籃，此時花籃內的硅片已經卸除，并將該空載的花籃傳送至位于左側的側腔內的升降機構，從而確保花籃能夠重復利用，進而提高了烘干固化爐裝置的工作效率，同時節約了烘干固化爐裝置的使用成本。

在上述任一技術方案中，機架還包括中間分隔板，中間分隔板設置在主容納腔內，用于將主容納腔分隔成上腔體和下腔體，爐體裝置設置在上腔體內。

在該技術方案中，爐體裝置具有烘干作用，用于烘干烘干件，進而滿足烘干固化爐裝置的烘干要求。

在上述任一技術方案中，機架包括兩個側腔，兩個側腔分別設置在主容納腔的兩側，固化爐裝置包括兩個升降機構，兩個升降機構分別設置在對應的側腔內，回傳機構設置在下腔體內，且與控制系統連接。

在該技術方案中，烘干固化爐裝置利用控制系統控制升降機構動作，將花籃和裝載在花籃內的硅片送入爐體裝置進行烘干，當硅片烘干完成后，又將硅片傳送至其他部件，即上下料機構，便于其下料。這樣使得烘干固化爐裝置具有自動烘干硅片的功能，從而滿足設備的自動化要求。