[發(fā)明專利]一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110296082.9
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113046834A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱化興軟控科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00;C01B21/072;C30B29/40
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 韓立巖

1.一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟1、氮化鋁晶體生長(zhǎng)結(jié)束后，取氮化鋁晶體生長(zhǎng)后的原料，破碎為0.1-1cm的顆粒原料，待用

步驟2、將步驟1得到的顆粒原料置于球磨機(jī)中，球磨后得到0.005-0.1mm的微粉原料，待用；

步驟3、將步驟2得到微粉原料烘干后，用氫氟酸和硝酸的混合溶液進(jìn)行洗滌，然后經(jīng)超純水清洗、然后經(jīng)過(guò)乙醇超聲清洗、烘干，得到高純氮化鋁粉體；

步驟4、將步驟3得到的高純氮化鋁粉體進(jìn)行冷等靜壓成型，得到高純氮化鋁塊體原料；

步驟5、將步驟4得到的高純氮化鋁塊體原料在氣氛保護(hù)下加熱至1500-1700℃，高溫煅燒10-20h，冷卻后得到5N級(jí)高純氮化鋁塊狀原料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟1中破碎采用EP-100型破碎機(jī)，生產(chǎn)能力0.2-1.0t/h，破碎時(shí)間1-10min。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟2中球磨采用高速球磨機(jī)，用氮化鋁陶瓷球進(jìn)行球磨，球磨轉(zhuǎn)速為1500-2000r/min，球磨時(shí)間為10-15h。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟3中微粉原料和混合溶液的料液比為1:2-3g/ml，洗滌時(shí)間為0.5-2h。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟3中其中氫氟酸和硝酸的混合溶液中氫氟酸和硝酸的質(zhì)量比為1:1-3，所用氫氟酸的濃度為10-20wt％，所用硝酸的濃度為30-50wt％。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟3中超純水清洗2-3次后，乙醇的超聲清洗時(shí)間為10-20min，超聲清洗的頻率為1000-2000Hz，烘干溫度為100-120℃，烘干時(shí)間30-60min。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟4中冷等靜壓的壓力為100-200Mpa。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)殘余原料的回收利用方法，其特征在于：步驟5中保護(hù)氣氛為氮?dú)狻?/p>