[發明專利]陣列基板及其制作方法

有效

• 申請號: 202110284741.7
• 申請日: 2021-03-17
• 公開（公告）號: CN113097255B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 陳小童
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

本發明公開了一種陣列基板及其制作方法。所述陣列基板包括：襯底基板；絕緣層，設置于所述襯底基板上，并設有一個或多個槽以裸露位于所述外圍區域中的部分所述襯底基板；以及導電走線，設置于所述襯底基板和所述絕緣層上，并填充于所述槽中。由此，本發明能夠降低所述導電走線的電阻，同時避免外圍導電走線在應力偏大的情況下翹曲等問題的發生。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，并且更具體地涉及陣列基板及其制作方法。

背景技術

有機電致發光二極體(Organic light emitting diode，OLED)是一種自主發光技術，它與液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)相比，具有電壓需求低、省電效率高、重量輕、構造簡單，廣視角、對比度高、制備工藝簡單、成本低、功耗低、發光亮度高、工作溫度適應范圍廣、體積輕薄、響應速度快，而且易于實現彩色顯示和大屏幕顯示、易于實現和集成電路驅動器相匹配、易于實現柔性顯示等優點，因而被業內普遍看好。

隨著大尺寸OLED顯示面板及高解析度顯示技術的不斷發展，用于OLED顯示面板的外圍導電走線已經從Al過渡到Cu或Ag等低電阻金屬，為了進一步降低外圍導電走線的電阻，在現有技術中，一般通過降低外圍導電走線(例如Cu)的厚度來降低其電阻。

然而，如果通過降低外圍導電走線的厚度來降低其電阻，那么當外圍導電走線的厚度降低到一定程度時，外圍導電走線容易在應力偏大的情況下發生翹曲等問題。因此，需要新的工藝技術來實現降低電阻的目的。

發明內容

鑒于上述內容，本發明提出了一種陣列基板及其制作方法，能夠降低外圍導電走線的電阻，同時避免了外圍導電走線在應力偏大的情況下翹曲等問題的發生。

本發明的一方面提供了一種陣列基板，包括顯示區域及位于顯示區域邊緣的外圍區域，所述陣列基板包括：

襯底基板；

絕緣層，設置于所述襯底基板上，并設有一個或多個槽以裸露位于所述外圍區域中的部分所述襯底基板；以及

導電走線，設置于所述襯底基板和所述絕緣層上，并填充于所述槽中。

在一優選實施例中，所述絕緣層設有兩個間隔開的所述槽，兩個所述槽之間形成一凸起，所述導電走線進一步覆蓋所述凸起。

在一優選實施例中，所述凸起的形狀為梯形、半圓形、或三角形。

在一優選實施例中，所述導電走線為單層或多層的Cu、Mo、Ti、或Al，或它們的合金材料。

在一優選實施例中，所述絕緣層為SiNx和SiO₂中的一種、或者它們的組合。

在一優選實施例中，所述陣列基板還包括：

金屬遮光層，與所述導電走線同層且間隔開地設置；

緩沖層，位于所述導電走線和所述金屬遮光層上且覆蓋所述絕緣層；

設置于所述緩沖層上的薄膜晶體管和介電層，所述薄膜晶體管位于所述金屬遮光層在所述襯底基板的正投影區域的上方；以及

設置于所述薄膜晶體管和所述介電層上的鈍化層、陽極、以及像素定義層。

在一優選實施例中，所述導電走線的厚度為500-2000埃。

本發明的另一方面提供了一種陣列基板的制作方法，包括以下步驟：

提供一襯底基板，所述襯底基板包括顯示區域及位于顯示區域邊緣的外圍區域；

在所述襯底基板上形成絕緣層，其中所述絕緣層設有一個或多個槽以裸露位于所述外圍區域中的部分所述襯底基板；以及