[發(fā)明專利]一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣夾具及其制樣方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110282390.6
• 申請日: 2021-03-16
• 公開（公告）號: CN113109375B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巫業(yè)棟;李建;劉岳;江濤
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥波林新材料股份有限公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 汪貴艷

1.一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣夾具，其特征在于，包括與標準鑲嵌模具形狀匹配的基座(3)，所述基座(3)上表面呈周向均勻分布有若干多面支撐體(1)，相鄰兩個多面支撐體(1)相鄰的外側(cè)表面位于同一平面，所述基座(3)與多面支撐體(1)均由導(dǎo)電材料制成，所述多面支撐體(1)的外側(cè)表面上粘貼有導(dǎo)電膠；相鄰的兩個多面支撐體(1)外相鄰的兩條棱邊的內(nèi)側(cè)邊部之間交叉固定有由導(dǎo)電材料制成的絲繩(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣夾具，其特征在于，所述基座(3)上表面開設(shè)有若干通孔(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣夾具，其特征在于，所述導(dǎo)電材料為金屬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣夾具，其特征在于，所述多面支撐體(1)為正三棱柱，多面支撐體(1)的數(shù)量共設(shè)有三個。

5.一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣方法，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-2任一所述的制樣夾具，制樣步驟如下：

步驟1：預(yù)置合適尺寸的薄膜材料；

步驟2：薄膜材料的兩邊部粘貼在相鄰兩個多面支撐體(1)外側(cè)表面的導(dǎo)電膠上，保證薄膜材料平整展開無褶皺；

步驟3：制樣夾具與薄膜材料放置在標準鑲嵌模具內(nèi)，利用含金屬粉的鑲嵌液固化成模；

步驟4：對成模后的樣品進行研磨、拋光處理后，用掃描電鏡觀察薄膜截面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣方法，其特征在于，步驟1中，待測薄膜材料裁剪到使其能夠剛好在兩個多面支撐體(1)的外側(cè)表面之間完全鋪展且沒有余量的尺寸。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣方法，其特征在于，所述鑲嵌液采用體積比2∶1∶0.1的亞克力粉、亞克力溶劑及納米Fe粉均勻混合攪拌制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種薄膜材料掃描電鏡截面制樣方法，其特征在于，所述標準鑲嵌模具內(nèi)倒入鑲嵌液之后，置入60℃烘箱中保溫3h固化成模。