[發(fā)明專利]一種摻雜ZnS靶材的制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110273556.8
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113136552A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾成亮;文崇斌;朱劉;胡智向
• 申請（專利權(quán)）人: 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/06;B22F3/14
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將銀粉和硫化鋅粉體混合，球磨，過篩；

(2)將步驟(1)所得粉體裝入模具中，放入真空熱壓爐里；

(3)預(yù)壓；

(4)成型：抽真空至真空度＜10Pa，升溫到700～1050℃，保溫20～60min，同時進(jìn)行加壓，加壓壓力為90～150MPa，加壓時間為60～120min，冷卻，即得所述ZnS靶材。

2.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，所述銀粉在靶材中的含量為0.05～0.3wt％。

3.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，所述銀粉在靶材中的含量為0.1～0.3wt％。

4.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述球磨的步驟具體為：在直徑為30mm、20mm和10mm的1:1:1重量混合的鋯球下球磨8～12小時，球料比為2～2.5:1。

5.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述過篩為過200目篩。

6.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，所述預(yù)壓的壓力為50～80MPa。

7.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中，所述升溫的過程中控制升溫速率為3～5℃/min。

8.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)之后還包括對靶材進(jìn)行CNC加工，切割到所需要的尺寸的步驟。

9.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中，所述冷卻的方式為隨爐降溫。

10.如權(quán)利要求1所述摻雜ZnS靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中，所述成型為：抽真空至真空度＜10Pa，以5℃/min升溫到950℃，保溫30min，同時進(jìn)行加壓，加壓壓力為110MPa，加壓時間為120min。