[發(fā)明專利]一種聲波換能單元及其制作方法、聲波換能器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110257537.6 | 申請日： | 2021-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN113042345A | 公開（公告）日： | 2021-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 郭景文;陶永春 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方技術(shù)開發(fā)有限公司 |
| 主分類號： | B06B1/02 | 分類號： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 聲波 單元 及其 制作方法 換能器 | ||
1.一種聲波換能單元，其特征在于，包括：第一襯底、設(shè)置在所述第一襯底上的第一電極、設(shè)置在所述第一襯底靠近所述第一電極一側(cè)的支撐層，以及設(shè)置在所述支撐層遠離所述第一襯底一側(cè)的導(dǎo)體化振膜層；
其中，所述支撐層圍成有空腔，所述第一電極、所述導(dǎo)體化振膜層和所述空腔在所述第一襯底上的正投影存在重合區(qū)域；所述導(dǎo)體化振膜層同時作為所述聲波換能單元中的振膜層和第二電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波換能單元，其特征在于，所述導(dǎo)體化振膜層的材料為石墨烯或超順排碳納米管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波換能單元，其特征在于，在沿著垂直于所述第一襯底所在平面的方向上，所述導(dǎo)體化振膜層的厚度為5nm至100nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波換能單元，其特征在于，所述聲波換能單元還包括隔離保護層，所述隔離保護層設(shè)置在所述第一電極靠近所述導(dǎo)體化振膜層的一側(cè)，且所述隔離保護層覆蓋所述第一電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波換能單元，其特征在于，所述導(dǎo)體化振膜層具有貫穿的釋放孔，所述釋放孔在所述第一襯底上的正投影位于所述空腔在所述第一襯底上的正投影內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲波換能單元，其特征在于，所述聲波換能單元還包括覆蓋所述導(dǎo)體化振膜層的鈍化層，所述鈍化層填充至所述釋放孔內(nèi)；
所述聲波換能單元還包括設(shè)置在所述鈍化層遠離所述導(dǎo)體化振膜層一側(cè)的第一信號線，所述第一信號線通過貫穿所述鈍化層的第一通孔與所述導(dǎo)體化振膜層連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的聲波換能單元，其特征在于，所述第一襯底具有貫穿的第二通孔；
所述聲波換能單元還包括設(shè)置在所述第一襯底遠離所述第一電極一側(cè)的第二信號線，且所述第二信號線通過所述第二通孔與所述第一電極連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的聲波換能單元，其特征在于，所述第二通孔在所述導(dǎo)體化振膜層上的正投影位于所述導(dǎo)體化振膜層的中心位置。
9.一種聲波換能單元的制作方法，其特征在于，包括：
在第一襯底上形成第一電極；
在所述第一襯底靠近所述第一電極的一側(cè)形成支撐層；所述支撐層圍成有空腔；
在所述支撐層遠離所述第一襯底的一側(cè)形成導(dǎo)體化振膜層；
其中，所述第一電極、所述導(dǎo)體化振膜層和所述空腔在所述第一襯底上的正投影存在重合區(qū)域；所述導(dǎo)體化振膜層同時作為所述聲波換能單元中的振膜層和第二電極。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述支撐層遠離所述第一襯底的一側(cè)形成導(dǎo)體化振膜層的步驟，包括：
在所述第一電極遠離所述第一襯底的一側(cè)形成犧牲層；
在所述犧牲層上形成導(dǎo)體化振膜層；所述導(dǎo)體化振膜層具有貫穿的釋放孔，所述釋放孔在所述第一襯底上的正投影位于所述犧牲層在所述第一襯底上的正投影內(nèi)；
通過所述釋放孔去除所述犧牲層。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述支撐層遠離所述第一襯底的一側(cè)形成導(dǎo)體化振膜層的步驟，包括：
在第二襯底上形成導(dǎo)體化振膜層；
將所述第二襯底上形成的所述導(dǎo)體化振膜層鍵合到所述支撐層遠離所述第一襯底的一側(cè)；
去除所述第二襯底。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在所述第一襯底靠近所述第一電極的一側(cè)形成支撐層的步驟之后，還包括：
形成貫穿所述第一襯底的第二通孔；
在所述第一襯底遠離所述第一電極的一側(cè)形成第二信號線；所述第二信號線通過所述第二通孔與所述第一電極連接。
13.一種聲波換能器，其特征在于，包括多個如權(quán)利要求1至8中任一項所述的聲波換能單元。
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