[發(fā)明專(zhuān)利]一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110249581.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113178494A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 花銀群;陳月亮;李志寶;陳瑞芳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/0216
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，采用離子束在砷化鎵電池表面刻蝕微納米減反結(jié)構(gòu)，其特征在于，具體步驟為：

(1)用酒精清洗電池表面并用吹風(fēng)機(jī)吹干；

(2)將電池背面粘貼在基板上固定，再將粘好電池的基板放置于旋涂機(jī)中旋涂光刻膠薄膜；

(3)旋涂完光刻膠薄膜后，將基片放置于真空干燥箱中保溫烘干；

(4)選取掩模版，采用光刻機(jī)將紫外光透過(guò)掩模版輻照在附有光刻膠的電池表面，對(duì)照射部分曝光；

(5)采用化學(xué)溶液腐蝕的方法溶解去除曝光區(qū)發(fā)生降解反應(yīng)的光刻膠；

(6)離子束刻蝕設(shè)備發(fā)出定向高能離子束撞擊帶有太陽(yáng)能電池的基板，刻蝕曝光區(qū)的電池表面，從而形成微結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的電池為GaAs基單結(jié)異質(zhì)太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)包括正背面接觸層、窗口層、發(fā)射區(qū)、基區(qū)、背散射場(chǎng)、緩沖區(qū)、襯底層。

3.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的旋涂機(jī)為EVG101旋涂機(jī)，EVG101旋涂機(jī)的運(yùn)行參數(shù)為：旋涂時(shí)間為30s，加速度為1000rpm/s，速度為2000rpm。

4.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的真空干燥箱保溫烘干，其溫度為135℃，保溫時(shí)間為15min。

5.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的掩模版為矩形，正方形或圓形；光刻機(jī)為Karisuss Ma6光刻機(jī)，所述Karisuss Ma6光刻機(jī)的激光為13nm的極端紫外光，所用的光刻機(jī)的曝光時(shí)間為5s。

6.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的化學(xué)溶液為濃度為2.38％的四甲基氫氧化銨溶液。

7.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述的離子束刻蝕設(shè)備運(yùn)行參數(shù)設(shè)置為離子束電流：150mA，離子束電壓：400V，加速電壓：400V，中性電流：150mA，射頻功率300W；離子束是氬離子束。

8.如權(quán)利要求1所述的一種提高砷化鎵太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率的方法，其特征在于，所述微納米減反結(jié)構(gòu)的底面尺寸為1μm～10μm，深度為10nm～300nm。