[發明專利]一種等離子表面清潔裝置

在審

• 申請號: 202110247600.8
• 申請日: 2021-03-06
• 公開（公告）號: CN112820619A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 高佳
• 申請（專利權）人: 東莞市峰谷納米科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 廣州市一新專利商標事務所有限公司 44220
• 代理人: 劉興耿

1.一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，包括主機體，所述主機體一側設有真空泵組，所述主機體兩端還設有惰性氣體箱及活性氣體箱，所述惰性氣體箱與所述活性氣體箱一側分別設有高壓電源及電控箱，所述惰性氣體箱與所述活性氣體箱通過管道與所述主機體相通，所述主機體內部中空形成腔體；

所述腔體內部設有用于將所述腔體隔離成兩部分的隔離板，所述腔體中設有轉動架及石墨電極，所述石墨電極與所述高壓電源連接，所述高壓電源分別與所述真空泵組、活性氣體箱及所述惰性氣體箱電連接。

2.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述石墨電極分別設于所述腔體兩側。

3.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述活性氣體箱、惰性氣體箱的出氣孔與所述石墨電極相對應。

4.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述活性氣體箱、所述惰性氣體箱與所述主機體連接的管道上均設有電磁閥，所述電磁閥與所述電控箱電連接。

5.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述主機體還設有轉動電機，所述轉動架通過軸與轉動電機連接，所述轉動架上方設置有密封板，所述密封板上開有孔，所述轉動架的軸通過孔與所述轉動電機連接。

6.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述轉動架上設有若干粘性貼。

7.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述轉動架與所述隔離板連接，且所述隔離板與所述轉動架連接處設有柔性接頭，所述柔性接頭與轉動架接觸連接。

8.根據權利要求1所述的一種等離子表面清潔裝置，其特征在于，所述真空泵組共有兩個，真空泵組通過管道連接隔離板兩側的腔體。