[發(fā)明專利]精密線性馬達(dá)平臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110245183.3
• 申請(qǐng)日: 2021-03-05
• 公開（公告）號(hào): CN113364241A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李成魯;南基善;張仁瀚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 埃爾帕特克股份有限公司
• 主分類號(hào): H02K41/03
• 分類號(hào): H02K41/03;H02K9/04
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何沖

一種精密線性馬達(dá)平臺(tái)包括：基底部件，以沿長(zhǎng)度方向延長(zhǎng)的方式形成；至少一個(gè)引導(dǎo)軌，設(shè)置在基底部件；移動(dòng)部件，以能夠沿引導(dǎo)軌滑動(dòng)的方式設(shè)置；永磁體組件，設(shè)置在基底部件與移動(dòng)部件中的任一者；線圈組件，設(shè)置在基底部件與移動(dòng)部件中的另一者，以產(chǎn)生磁力并通過與永磁體組件的相互作用使移動(dòng)部件沿引導(dǎo)軌移動(dòng)；多個(gè)渦流管，設(shè)置在基底部件與移動(dòng)部件中的至少任一者；多個(gè)供應(yīng)管，分別連接到多個(gè)渦流管，以對(duì)多個(gè)渦流管供應(yīng)壓縮空氣；以及控制部，控制線圈組件的作動(dòng)。精密線性馬達(dá)平臺(tái)具有以比較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)精確且精密的作動(dòng)的效果。另外，精密線性馬達(dá)平臺(tái)具有結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、不會(huì)大大增加體積與重量且可精密作動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種精密線性馬達(dá)平臺(tái)，更詳細(xì)而言涉及一種使用線性馬達(dá)準(zhǔn)確驅(qū)動(dòng)線性運(yùn)動(dòng)的裝置。

背景技術(shù)

線性馬達(dá)平臺(tái)非常廣泛地用于半導(dǎo)體設(shè)備及精密加工裝置等設(shè)備。

根據(jù)線性馬達(dá)平臺(tái)的作動(dòng)精密度，半導(dǎo)體工藝及切削工藝的精密度及精確度受到大的影響。

最近，需要一種具有幾乎數(shù)微米以內(nèi)的作動(dòng)精密度的線性馬達(dá)平臺(tái)。

線性馬達(dá)由于其裝置的特性而會(huì)從線圈產(chǎn)生大量熱量，且由于在線圈中產(chǎn)生的熱量加熱周邊構(gòu)成會(huì)引起熱變形，因此是降低作動(dòng)精密度的主要原因。

為了防止如上所述的熱變形，在高精密度的設(shè)備中大量使用使用石定盤的方法。如上所述，在將石定盤用作基底的情況下可通過減少在線圈中產(chǎn)生的熱量引起的熱變形來提高作動(dòng)精密度。然而，使用石定盤的方法存在制造成本變高且設(shè)備整體的重量變重的問題。

因此，需要一種能夠在不使用如上所述石定盤等昂貴的材料的同時(shí)也將溫度變化的影響最小化來實(shí)現(xiàn)高精密度的作動(dòng)的精密線性馬達(dá)平臺(tái)。

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

本發(fā)明是為了解決如上所述的必要性而提出的，其目的在于提供一種結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單且體積不大、可以比較低廉的費(fèi)用制造的高精密度精密線性馬達(dá)平臺(tái)。

[解決問題的技術(shù)手段]

為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的精密線性馬達(dá)平臺(tái)的特征在于包括：基底部件，以沿長(zhǎng)度方向延長(zhǎng)的方式形成；至少一個(gè)引導(dǎo)軌，設(shè)置在所述基底部件；移動(dòng)部件，以能夠沿所述引導(dǎo)軌滑動(dòng)的方式設(shè)置；永磁體組件，設(shè)置在所述基底部件與移動(dòng)部件中的任一者；線圈組件，設(shè)置在所述基底部件與移動(dòng)部件中的另一者，以產(chǎn)生磁力并通過與所述永磁體組件的相互作用使所述移動(dòng)部件沿引導(dǎo)軌移動(dòng)；多個(gè)渦流管，設(shè)置在所述基底部件與移動(dòng)部件中的至少任一者；多個(gè)供應(yīng)管，分別連接到所述多個(gè)渦流管，以對(duì)所述多個(gè)渦流管供應(yīng)壓縮空氣；以及控制部，控制所述線圈組件的作動(dòng)。

[發(fā)明的效果]

本發(fā)明的精密線性馬達(dá)平臺(tái)具有以比較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且精密的作動(dòng)的效果。

另外，本發(fā)明的精密線性馬達(dá)平臺(tái)具有結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、不會(huì)大大增加體積與重量且可精密作動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的精密線性馬達(dá)平臺(tái)的立體圖；

圖2是圖1所示精密線性馬達(dá)平臺(tái)的仰視立體圖；

圖3是關(guān)于圖1所示精密線性馬達(dá)平臺(tái)的一部分的剖面圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的精密線性馬達(dá)平臺(tái)的立體圖。

符號(hào)的說明

100：基底部件；

101：貫通孔；

110：中空部；

210、220：引導(dǎo)軌；

300：移動(dòng)部件；