[發明專利]描畫裝置

在審

• 申請號: 202110226010.7
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113341657A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 神田寬行;原望
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 金輝;崔炳哲

本發明涉及描畫裝置(1)，包括：供給部(51)，保持卷繞有長條的基材(9)的供給輥(511)；工作臺(52)，將從供給部拉出的基材保持于保持面(521)上；回收部(53)，利用回收輥(531)卷繞通過保持面的基材；搬運部(54)，在非描畫圖案時，沿著從供給部通過保持面至回收部的搬運路徑搬運基材；光射出部(31)，在描畫圖案時射出光；以及移動機構(4)，在描畫圖案時，在移動方向上移動工作臺。在沿著保持面上的基材的寬度方向觀察時，在移動方向上的、位于工作臺的一端附近的折返位置，搬運路徑在移動方向上被折返，并且在與折返位置相比更靠工作臺側配置供給部以及回收部。由此，能夠更高效地進行供給輥以及回收輥的替換操作。

技術領域

本發明涉及一種描畫裝置。

背景技術

以往，已知在柔性基板等長條的基材上描畫圖案的描畫裝置。在描畫裝置中，依次設置有：供給部，保持用于基材卷繞的供給輥；描畫部，在基材上描畫圖案；以及回收部，利用回收輥卷繞基材。在描畫部中，從供給輥拉出的基材的一部分被保持在工作臺上，一邊移動工作臺一邊在該部分上照射光，從而描畫圖案。被描畫有圖案的部分由回收輥卷繞。在這種描畫裝置種，在供給部與描畫部之間、以及在描畫部與回收部之間設置有吸收基材的松弛的跳動輥等。

另一方面，在描畫部的兩側，經由跳動輥等配置供給部以及回收部的情況下，需要較大地占用描畫裝置的設置空間。另外，由于供給部與回收部之間的基材的搬運距離較長，也會產生基材的彎曲等的問題。因此，在日本特開2019-53140號公報(文獻1)中，公開了如下裝置：在設置有工作臺的基座上，在工作臺的兩側配置供給部以及回收部，在圖案的描畫過程中移動工作臺時，供給部以及回收部也在與工作臺一起在相同的方向上移動。

另外，在沿著基材的長度方向依次設置有供給部、描畫部以及回收部的裝置中，在進行供給輥以及回收輥的替換時，操作者需要在夾著描畫部的兩側的位置之間移動，從而不能高效地進行替換操作。另外，如文獻1所示，在工作臺的兩側配置有供給部以及回收部的裝置中也產生相同的問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供在長條的基材上描畫圖案的描畫裝置，高效地進行供給輥以及回收輥的替換操作。

本發明的描畫裝置包括：供給部，保持卷繞有長條的基材的供給輥；工作臺，將從所述供給部拉出的所述基材保持于保持面；回收部，利用回收輥卷繞通過了所述保持面的所述基材；搬運部，具有搬運輥，在非圖案描畫時，沿著從所述供給部通過所述保持面至所述回收部的搬運路徑搬運所述基材；光射出部，在圖案描畫時，朝向所述保持面上的所述基材射出調制的光；以及移動機構，在圖案描畫時，在沿著保持于所述保持面上的所述基材的長度方向的移動方向上，使所述工作臺相對于所述光射出部移動。在沿著所述保持面上的所述基材的寬度方向觀察時，在所述移動方向上的、位于所述工作臺的一端附近的折返位置，所述搬運路徑在所述移動方向上被折返，并且在與所述折返位置相比更靠所述工作臺側，配置有所述供給部以及所述回收部。

根據本發明，能夠高效地進行供給輥以及回收輥的替換操作。

優選為，所述移動機構使所述工作臺在所述移動方向上連續地移動，并且所述供給部以及所述回收部能夠在所述移動方向上移動。

優選為，描畫裝置還包括支承所述工作臺、所述供給部以及所述回收部的基座部，所述移動機構移動所述基座部。

優選為，所述供給部以及所述回收部彼此相鄰地配置。

優選為，描畫裝置還包括校正值獲取部，該校正值獲取部具有相對于所述工作臺的相對的位置被固定的校正用檢測部，通過在校正動作中將來自所述光射出部的光照射至所述校正用檢測部，獲取關于所述光射出部與所述工作臺之間的相對位置的校正值，沿著所述移動方向依次排列有所述工作臺、所述折返位置以及所述校正用檢測部。

上述的目的以及其它的目的、特征、實施方式以及優點通過參照附圖對本發明進行如下的詳細說明而進一步體現。

附圖說明