[發明專利]一種探針卡固持器的連接結構

在審

• 申請號: 202110225028.5
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN112904058A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 王鴻亮
• 申請（專利權）人: 哈爾濱橋晟科技發展有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種探針卡固持器的連接結構，包括探針卡板和卡板連接結構，所述的探針卡板上設置有探針卡，且探針卡板通過卡板連接結構與檢測電路連接，通過將連接結構設置在升降臺的下端，使升降臺下降到底部時，升降臺搭接在插頭托板上，使插頭托板向下運動，由立架滑槽的導向作用使插頭滑塊帶著連接插頭相對插頭托板向內滑動，直至連接插頭的前端插入探針卡板側面的插口，能夠實現在升降臺下降到底部時，自動將連接插頭與探針卡板連接，在升降臺離開底部時，能夠自動將連接插頭與探針卡板斷開。

技術領域

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種探針卡固持器的連接結構。

背景技術

隨著半導體工業的發展，越來越多的電子裝置被接入在半導體晶圓上，在半導體器件的制作過程中，將探針與半導體晶圓上的金屬端接觸，實現臨時的電連接，使測試儀的電信號通過探針傳輸到半導體器件，測試儀通過返回的電信號對半導體晶圓上的電子裝置進行檢測。

探針卡是連接半導體晶圓與測試儀之間的紐帶，通過將多個探針集成在探針卡上，使多個探針同時與半導體晶片上的多個半導體器件同時接觸，提高檢測效率。

在半導體器件的生產過程中，需要多次對一個或多個裝置內的大量電路觸點進行訪問，通過移動機構對探針卡進行移動，使探針與觸點接觸，同時，為匹配檢測過程中的多組觸點，探針卡需要設置多個，由固持器對探針卡進行固定，固持器為能夠旋轉的多面體，通過在每個面上設置一個或多個探針卡，在需要切換探針卡時，通過轉動固持器，將對應的探針卡轉動至半導體器件上方進行檢測，或者設置多個可移動的平臺對探針卡進行移動，實現探針卡與不同觸點組的匹配，現有技術中，為了實現多組觸點的檢測，采用了對探針卡的互換來實現匹配，通過切換不同的探針卡來實現匹配，現有的固持器采用的多面體和移動平臺結構，無法設置多個探針卡，可切換的數量有限。

發明內容

本發明克服了上述現有技術的不足，提供了一種探針卡固持器的連接結構，使固持器設置的多個探針卡在切換時能夠自動連接，使固持器滿足多個探針卡的切換需要。

本發明的技術方案：

一種探針卡固持器，包括：底座、升降臺、探針卡板、卡板切換結構和卡板連接結構，所述底座上滑動設置有升降臺，升降臺上設置有卡板切換結構，所述的探針卡板上設置有探針卡，且探針卡板通過卡板連接結構與檢測電路連接；

所述底座包括：底座板、立板和卡板架，所述底座板上固定連接有立板，立板的正面固定連接有若干個卡板架，卡板架上設置有探針卡板容納槽，該探針卡板容納槽的外側設置有開口；

所述升降臺包括：升降臺滑軌、升降臺滑塊和升降臺板，所述升降臺滑軌設置在立板的背面，所述升降臺滑塊滑動設置在升降臺滑軌上，所述升降臺板的中間設置有過孔，且升降臺板套設在立板上，升降臺板與升降臺滑塊固定連接，所述升降臺板中間的過孔能夠容納所述卡板架，且該過孔與卡板架相對的一側為卡板承托區，該卡板承托區內側與所述卡板架外側對應設置有開口；

所述探針卡板包括：卡板體，所述卡板體的外側設置有若干個與所述探針卡的探針對應連接的插口；

所述卡板切換結構包括：卡板移動架、移動卡塊和固定卡塊，所述卡板移動架滑動設置在升降臺板上，卡板移動架的內側設置有移動卡塊，移動卡塊上開設有縱向設置的過孔，該過孔方向上設置有固定卡塊，且固定卡塊固定連接在探針卡板上；

所述卡板連接結構包括：連接插頭，連接插頭能夠與所述卡板體外側的插口連接。

進一步地，所述的卡板架的上表面向內凹陷形成探針卡板容納槽，與探針卡板容納槽外側開口相對的邊為探針卡板定位邊，該開口兩側的邊與探針卡板構成滑槽結構。

進一步地，所述升降臺還包括：升降電機、升降絲桿和升降絲桿滑塊，所述升降電機設置在立板的頂部，與升降電機的轉軸連接的升降絲桿設置在立板的背面，套設在升降絲桿上的升降絲桿滑塊與升降臺板固定連接。