[發(fā)明專利]一種用于真空腔的樣品位置保持裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110219288.1
• 申請(qǐng)日: 2021-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113030141A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段紹峰;楊媛媛;黃超之;唐天威;張文濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N23/2204
• 分類號(hào): G01N23/2204;G01N23/2273;G01B11/00
• 代理公司: 上海旭誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31220
• 代理人: 鄭立

1.一種用于真空腔的樣品位置保持裝置，包括真空腔、連接桿、樣品臺(tái)、位移臺(tái)以及相機(jī)，其特征在于，所述樣品臺(tái)位于所述連接桿的一端，所述位移臺(tái)與所述連接桿另一端通過(guò)法蘭連接，所述真空腔被配置為至少具有部分可視法蘭窗口，所述相機(jī)位于所述真空腔外部，所述相機(jī)被配置為拍攝所述樣品臺(tái)的位置。

2.如權(quán)利要求1所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述連接桿包括第一端和第二端，所述第一端位于所述真空腔內(nèi)部，所述第二端位于所述真空腔外部。

3.如權(quán)利要求2所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)與所述第一端連接，所述位移臺(tái)與所述第二端連接。

4.如權(quán)利要求3所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述位移臺(tái)包括第一水平位移臺(tái)以及第二水平位移臺(tái)，所述第一水平位移臺(tái)與所述第二水平位移臺(tái)被配置為控制所述樣品臺(tái)的水平方向移動(dòng)。

5.如權(quán)利要求4所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述第一水平位移臺(tái)被配置為由步進(jìn)馬達(dá)通過(guò)計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，所述第二水平位移臺(tái)被配置為由步進(jìn)馬達(dá)控制或手動(dòng)控制。

6.如權(quán)利要求5所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述位移臺(tái)還包括豎直位移臺(tái)，所述豎直位移臺(tái)與所述第二端連接，所述豎直位移臺(tái)被配置為控制所述樣品臺(tái)的豎直方向移動(dòng)。

7.如權(quán)利要求6所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述位移臺(tái)還包括極角旋轉(zhuǎn)裝置，所述極角旋轉(zhuǎn)裝置與所述水平位移臺(tái)連接，所述極角旋轉(zhuǎn)裝置被設(shè)置于所述第一水平位移臺(tái)與所述第二水平位移臺(tái)之間。

8.如權(quán)利要求7所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述連接桿為中空管狀，所述連接桿被配置為能夠傳輸液氦。

9.如權(quán)利要求8所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，所述相機(jī)包括第一相機(jī)以及第二相機(jī)，所述第一相機(jī)與所述第二相機(jī)被配置為從不同角度拍攝所述樣品臺(tái)的位置。

10.如權(quán)利要求9所述的用于真空腔的樣品位置保持裝置，其特征在于，還包括補(bǔ)充光源和自動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，所述補(bǔ)充光源位于所述真空腔外部，所述補(bǔ)充光源被配置為能夠照亮所述樣品臺(tái)，所述自動(dòng)控制開(kāi)關(guān)被配置為自動(dòng)控制補(bǔ)充光源的開(kāi)與關(guān)。