[發(fā)明專利]裂紋檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110205586.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-24
• 公開（公告）號(hào): CN113325000A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中村勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): G01N21/91
• 分類號(hào): G01N21/91;G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種裂紋檢測(cè)方法，其中，

該裂紋檢測(cè)方法具有如下的工序：

裂紋形成工序，將對(duì)于具有第一面和與該第一面相反的一側(cè)的第二面的板狀的被加工物具有透過性的波長的激光光線的聚光點(diǎn)從該第一面定位于該被加工物的內(nèi)部而呈線狀照射，在該被加工物的內(nèi)部形成改質(zhì)層，并且形成從該改質(zhì)層向該第二面?zhèn)妊由斓牧鸭y；

涂料涂覆工序，在實(shí)施了該裂紋形成工序之后，在該第二面上涂覆涂料；以及

裂紋檢測(cè)工序，探查該涂料被呈線狀排斥的部位來檢測(cè)裂紋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裂紋檢測(cè)方法，其中，

在該涂料涂覆工序中，使用油性記號(hào)。