[發明專利]一種晶圓光刻旋轉設備

有效

• 申請號: 202110201519.6
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN112936076B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 晉美玉
• 申請（專利權）人: 唐山國芯晶源電子有限公司
• 主分類號: B24B29/04
• 分類號: B24B29/04;B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/00;B24B27/00
• 代理公司: 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504
• 代理人: 羅炳鋒

1.一種晶圓光刻旋轉設備，其結構包括動力底座（1）、機體（2）、控制板（3），其特征在于：

所述動力底座（1）頂面與機體（2）底面嵌固連接，所述控制板（3）嵌入于機體（2）正面；

所述機體（2）包括外殼（21）、固定套（22）、觀察板（23）、旋轉臺（24），所述固定套（22）嵌入于外殼（21）頂面，所述觀察板（23）嵌入于外殼（21）左側，所述旋轉臺（24）底部與外殼（21）內層嵌固連接；

所述旋轉臺（24）包括傳動頭（241）、連接框（242）、扭柄（243）、接觸臺（244），所述傳動頭（241）頂面與連接框（242）底面焊接連接，所述連接框（242）頂面與接觸臺（244）底面焊接連接，所述接觸臺（244）底面通過扭柄（243）與傳動頭（241）頂面連接；

所述接觸臺（244）包括底板（A1）、滑動槽（A2）、夾頭（A3）、防滑球（A4），所述底板（A1）頂面與滑動槽（A2）為一體化成型，所述夾頭（A3）底部與滑動槽（A2）內層活動連接，所述防滑球（A4）底面與底板（A1）頂面嵌固連接；

所述夾頭（A3）包括滑動頭（A31）、托塊（A32）、側頂柱（A33）、貼合塊（A34），所述滑動頭（A31）頂面與托塊（A32）底面焊接連接，所述托塊（A32）頂面通過側頂柱（A33）與貼合塊（A34）底面連接；

所述貼合塊（A34）包括安裝框（B1）、支撐柱（B2）、受力板（B3）、貼合結構（B4），所述安裝框（B1）內層通過支撐柱（B2）與貼合結構（B4）左側連接，所述受力板（B3）頂面與安裝框（B1）底面嵌固連接；

所述貼合結構（B4）包括外推板（B41）、外圈殼（B42）、外彈柄（B43）、固定軸（B44）、貼合板（B45），所述外推板（B41）頂端通過外圈殼（B42）與貼合板（B45）左側活動卡合，所述外圈殼（B42）內環通過外彈柄（B43）與固定軸（B44）外環嵌固連接；

所述貼合板（B45）包括變形板（C1）、內陷槽（C2）、壓柱（C3）、壓輪（C4），所述變形板（C1）底面與內陷槽（C2）為一體化成型，所述內陷槽（C2）通過壓柱（C3）與壓輪（C4）內部活動卡合；

所述壓輪（C4）包括固定環（C41）、外頂環（C42）、外層殼（C43）、回拉頭（C44）、磨平塊（C45），所述固定環（C41）外環與外頂環（C42）內環嵌固連接，所述外層殼（C43）正面通過回拉頭（C44）與磨平塊（C45）內部活動連接。