[發明專利]圖像處理方法及圖像處理裝置、電子設備、可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202110188340.1
• 申請日: 2021-02-18
• 公開（公告）號: CN112818991A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 法提·奧爾梅茲
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: G06K9/32
• 分類號: G06K9/32
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 熊永強

本申請實施例提供了一種圖像處理方法及圖像處理裝置、電子設備、可讀存儲介質，該圖像處理方法包括：根據第一圖像獲取第二圖像；根據所述第二圖像確定多個平行線組；獲取所述多條平行線中每條平行線的第一標準偏差值；根據所述第一標準偏差值從所述多個平行線組中確定目標平行線組；根據所述目標平行線組確定所述第一圖像的傾斜角度。這樣可以快速高效的確定出在檢測圖像時圖像需要傾斜的角度，且由于本方案確定出的傾斜角度不依賴于人的主觀判斷，因此可以保證測量結果的可重復性和測量結果的準確性。

技術領域

本申請涉及圖像處理領域，具體涉及一種圖像處理方法及圖像處理裝置、電子設備、可讀存儲介質。

背景技術

制造3D NAND存儲器的過程始于沉積多層交替的材料層，例如氧化物或氮化物(ONON)或氧化物或多晶硅(OPOP)。確保生產過程中各層的均勻性和光滑性至關重要。隨著層數的增加，層中的粗糙度和不均勻度會增加并迅速增長，這可能會導致較大的偏差。這反過來又會對產品性能和質量產生負面影響。通過顯微鏡成像，例如透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope，TEM)和掃描電子顯微鏡(scanning electronmicroscope，SEM)等對3DNAND交替膜疊層進行檢查，檢查的方面包括但不限于層厚和附著力的均勻性和光滑性。薄膜疊層圖像是通過將樣品放在顯微鏡下獲得的，在測量步驟之前，需要估計圖像傾斜。目前，這一估計是通過旋轉圖像并手動確定最適合眼睛的傾斜角度來執行的，因此這樣就使得不同的分析員會根據不同程度的傾斜，得到不同的分析結果，造成測量值不可復制，無法滿足半導體工業的步驟中需要的結果再現性要求。

發明內容

本申請實施例提供了一種圖像處理方法及圖像處理裝置、電子設備、可讀存儲介質，以期不依賴用戶的主觀判斷來確定圖像的傾斜角度，確保測量結果的可重復性。

第一方面，本申請實施例提供了一種圖像處理方法，包括：

根據第一圖像獲取第二圖像；

根據所述第二圖像確定多個平行線組，所述多個平行線組中每個平行線組的傾斜角度不同，所述每個平行線組中包括多條平行線；

獲取所述多條平行線中每條平行線的第一標準偏差值，所述第一標準偏差值用于指示對應的平行線相對于所述第二圖像的重合度；

根據所述第一標準偏差值從所述多個平行線組中確定目標平行線組；

根據所述目標平行線組確定所述第一圖像的傾斜角度。

第二方面，本申請實施例提供了一種圖像處理裝置，包括：

第一獲取單元，用于根據第一圖像獲取第二圖像；

第一確定單元，用于根據所述第二圖像確定多個平行線組，所述多個平行線組中每個平行線組的傾斜角度不同，所述每個平行線組中包括多條平行線；

第二獲取單元，用于獲取所述多條平行線中每條平行線的標準偏差值，所述標準偏差值用于指示對應的平行線相對于所述第二圖像的重合度；

第二確定單元，用于根據所述第一標準偏差值從所述多個平行線組中確定目標平行線組；

第三確定單元，用于根據所述目標平行線組確定所述第一圖像的傾斜角度。

第三方面，本申請實施例提供一種電子設備，其特征在于，包括處理器、存儲器，以及一個或多個程序，所述一個或多個程序被存儲在所述存儲器中，并且被配置由所述處理器執行，所述程序包括用于執行如上述第一方面或第二方面所述的任一方法中的步驟的指令。

第四方面，本申請實施例提供了一種計算機可讀存儲介質，其中，所述計算機可讀存儲介質存儲用于電子數據交換的計算機程序，其中，所述計算機程序使得計算機執行如本申請實施例第一方面或第二方面任一方法中所描述的部分或全部步驟。