[發(fā)明專利]溫控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110182187.1
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112965547B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李文博;胡文達;曹小康;芮守禎;何茂棟;常鑫;耿海東;董春輝
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李文麗

本發(fā)明涉及熱交換技術(shù)領(lǐng)域，提供一種溫控系統(tǒng)及溫控方法。溫控系統(tǒng)，包括：制冷系統(tǒng)和循環(huán)系統(tǒng)，制冷系統(tǒng)包括第一制冷系統(tǒng)和第二制冷系統(tǒng)，第一制冷系統(tǒng)包括連接形成循環(huán)的第一壓縮機、第三換熱器的放熱側(cè)、第一節(jié)流件和第一換熱器的吸熱側(cè)，第二制冷系統(tǒng)包括連接形成第一循環(huán)支路的第二壓縮機、第四換熱器的放熱側(cè)、節(jié)流裝置和第五換熱器的吸熱側(cè)，第二制冷系統(tǒng)包括形成第二循環(huán)支路的第二壓縮機、第四換熱器的放熱側(cè)、節(jié)流裝置和第三換熱器的吸熱側(cè)；循環(huán)系統(tǒng)包括水箱和設(shè)于水箱內(nèi)的加熱器，水箱、負載裝置、第一換熱器的放熱側(cè)與第五換熱器的放熱側(cè)連接形成循環(huán)。本發(fā)明提出的溫控系統(tǒng)，系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，溫度調(diào)控效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及熱交換技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及溫控系統(tǒng)及溫控方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體工藝越來越復(fù)雜，對溫度的要求越來越低，半導(dǎo)體溫控系統(tǒng)可通過復(fù)疊系統(tǒng)，實現(xiàn)超低溫(如-80℃)要求。為了更好的控制溫度和節(jié)能，根據(jù)循環(huán)液溫度控制要求，將溫度區(qū)間分為高溫段和低溫段。高溫段時只運行高溫級制冷系統(tǒng)，低溫段時，需要運行高溫級和低溫級制冷系統(tǒng)，即復(fù)疊系統(tǒng)。相關(guān)技術(shù)中，復(fù)疊系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，系統(tǒng)的運行不夠穩(wěn)定，此問題亟待解決。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種溫控系統(tǒng)，系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單，降低設(shè)備能耗，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，溫度調(diào)控效果好。

本發(fā)明還提出一種溫控方法。

根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的溫控系統(tǒng)，包括：

制冷系統(tǒng)，包括第一制冷系統(tǒng)和第二制冷系統(tǒng)，所述第一制冷系統(tǒng)包括連接形成循環(huán)的第一壓縮機、第三換熱器的放熱側(cè)、第一節(jié)流件和第一換熱器的吸熱側(cè)，所述第二制冷系統(tǒng)包括連接形成第一循環(huán)支路的第二壓縮機、第四換熱器的放熱側(cè)、節(jié)流裝置和第五換熱器的吸熱側(cè)，所述第二制冷系統(tǒng)還包括形成第二循環(huán)支路的所述第二壓縮機、第四換熱器的放熱側(cè)、節(jié)流裝置和第三換熱器的吸熱側(cè)；

循環(huán)系統(tǒng)，包括水箱和設(shè)于所述水箱內(nèi)的加熱器，所述水箱、負載裝置、所述第一換熱器的放熱側(cè)與所述第五換熱器的放熱側(cè)連接形成循環(huán)。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一制冷系統(tǒng)還包括第二換熱器，所述第三換熱器的放熱側(cè)連接于所述第二換熱器的放熱側(cè)與所述第一換熱器的吸熱側(cè)之間。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第四換熱器的放熱側(cè)與所述第三換熱器的吸熱側(cè)之間設(shè)有第一閥門，所述第四換熱器的放熱側(cè)與所述第五換熱器的吸熱側(cè)之間設(shè)有第二閥門。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述節(jié)流裝置包括第二節(jié)流件和第三節(jié)流件，所述第二節(jié)流件設(shè)于所述第一閥門與所述第三換熱器的吸熱側(cè)之間，所述第三節(jié)流件設(shè)于所述第二閥門與所述第五換熱器的吸熱側(cè)之間。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第二換熱器的吸熱側(cè)與廠務(wù)側(cè)連通；和/或，所述第四換熱器的吸熱側(cè)與廠務(wù)側(cè)連通。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第二壓縮機的進口端連接有第一壓力傳感器；所述第二壓縮機的出口端連接有第二壓力傳感器。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述水箱的出口端連接有第一溫度傳感器；

所述水箱的進口端連接有第三溫度傳感器；

所述第五換熱器的放熱側(cè)的進口端連接有第二溫度傳感器；

和/或，所述第一換熱器的吸熱側(cè)的進口端連接有第四溫度傳感器。

根據(jù)本發(fā)明第二方面實施例的溫控方法，應(yīng)用于如上所述的溫控系統(tǒng)，包括：

所述循環(huán)系統(tǒng)中循環(huán)液的溫度為第一溫度，所述第一制冷系統(tǒng)和所述第二制冷系統(tǒng)的第二循環(huán)支路均開啟；