[發(fā)明專利]一種拋光液供給臂和化學(xué)機(jī)械拋光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110174870.0
• 申請(qǐng)日: 2021-02-07
• 公開（公告）號(hào): CN112847145B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許振杰;梁清波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02;B24B37/34;B24B41/00
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本發(fā)明公開了一種拋光液供給臂和化學(xué)機(jī)械拋光裝置，拋光液供給臂包括基座，其上配置有基座孔；定位軸，其設(shè)置于所述基座孔中；懸臂，其通過套筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述定位軸；拋光液供給管，其經(jīng)由所述基座及定位軸向上延伸并沿所述懸臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置；鎖緊組件，其包括固定件和活動(dòng)件，所述固定件設(shè)置于所述定位軸的頂部，所述活動(dòng)件連接于所述懸臂并位于所述定位軸的上側(cè)；所述固定件與活動(dòng)件在豎直方向上至少部分重疊，以在所述懸臂擺動(dòng)至在線位置時(shí)，固定件與活動(dòng)件磁吸為一體，以提升拋光液滴落位置的準(zhǔn)確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種拋光液供給臂和化學(xué)機(jī)械拋光裝置。

背景技術(shù)

集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，在助推制造業(yè)向數(shù)字化、智能化轉(zhuǎn)型升級(jí)的過程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。芯片是集成電路的載體，芯片制造涉及芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、晶圓加工、電性測(cè)量、切割封裝和測(cè)試等工藝流程。其中，化學(xué)機(jī)械拋光屬于晶圓制造工序。

化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Planarization,CMP)是一種全局平坦化的超精密表面加工技術(shù)。化學(xué)機(jī)械拋光通常將晶圓吸合于承載頭的底面，晶圓具有沉積層的一面抵壓于拋光墊上表面，承載頭在驅(qū)動(dòng)組件的致動(dòng)下與拋光墊同向旋轉(zhuǎn)并給予晶圓向下的載荷；同時(shí)，拋光液供給于拋光墊的上表面并分布在晶圓與拋光墊之間，使得晶圓在化學(xué)和機(jī)械的共同作用下完成晶圓的化學(xué)機(jī)械拋光。

拋光液供給臂是化學(xué)機(jī)械拋光裝置的重要組成部分，其將拋光液供給至拋光墊的上表面。拋光液滴落位置與晶圓的去除速率及拋光液的利用率有關(guān)，需要通過調(diào)節(jié)拋光液供給臂的擺動(dòng)角度來調(diào)整拋光液供給位置。

現(xiàn)有技術(shù)的拋光液供給臂與固定基座通過定位柱銷實(shí)現(xiàn)連接與脫開，定位柱銷插入固定基座的槽孔時(shí)，拋光液供給臂固定于拋光墊的上方，即拋光液供給臂處于在線位置(供液位置)，實(shí)現(xiàn)拋光液的落點(diǎn)定位。在需要對(duì)拋光液供給臂進(jìn)行預(yù)防性保養(yǎng)(PreventiveMaintenance，PM)時(shí)，可以將定位柱銷從固定基座的槽孔中拔出，拋光液供給臂可自由旋轉(zhuǎn)至拋光盤的一側(cè)，即拋光液供給臂處于離線位置(PM位置)。PM結(jié)束后將拋光液供給臂擺到在線位置，定位柱銷再次插入固定基座的槽孔中，實(shí)現(xiàn)拋光液落點(diǎn)的固定。

現(xiàn)有的拋光液供給臂存在以下不足之處：

(1)為提升預(yù)防性保養(yǎng)的便捷性，定位柱銷與固定基座的槽孔需要設(shè)置較大的間隙，以便于拋光液供給臂的擺動(dòng)。當(dāng)外部環(huán)境變化或機(jī)臺(tái)有震動(dòng)時(shí)，因間隙的存在，拋光液供給臂會(huì)產(chǎn)生晃動(dòng)而使拋光液滴落位置不準(zhǔn)確，進(jìn)而影響晶圓的拋光效果；

(2)拋光液供給臂復(fù)位位置的一致性存在偏差，即每次復(fù)位都不在同一個(gè)位置，導(dǎo)致拋光液落點(diǎn)位置不統(tǒng)一而影響拋光效果。

(3)拋光液供給臂進(jìn)行預(yù)防性保養(yǎng)時(shí)，定位柱銷自固定基座的槽孔拔出，拋光液供給臂在圓周方向無任何約束，拋光液供給臂可以輕易的轉(zhuǎn)到任何位置，無法穩(wěn)定的停在離線位置，進(jìn)而干擾操作人員的正常作業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明實(shí)施例的提供了一種拋光液供給臂，其包括：

基座，其上配置有基座孔；

定位軸，其設(shè)置于所述基座孔中；

懸臂，其通過套筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述定位軸；

拋光液供給管，其經(jīng)由所述基座及定位軸向上延伸并沿所述懸臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置；

鎖緊組件，其包括固定件和活動(dòng)件，所述固定件設(shè)置于所述定位軸的頂部，所述活動(dòng)件連接于所述懸臂并位于所述定位軸的上側(cè)；

所述固定件與活動(dòng)件在豎直方向上至少部分重疊，以在所述懸臂擺動(dòng)至在線位置時(shí)，固定件與活動(dòng)件磁吸為一體。