[發明專利]一種擾流式晶圓去膜設備

在審

• 申請號: 202110154427.7
• 申請日: 2021-02-04
• 公開（公告）號: CN112992770A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 劉青云
• 申請（專利權）人: 廣州興金五金有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種擾流式晶圓去膜設備，其結構包括控制臺(1)、操作臺(2)、伸縮盒(3)、機體(4)，所述控制臺(1)嵌固于機體(4)的邊側位置，所述伸縮盒(3)與機體(4)的內部活動卡合，其特征在于：所述操作臺(2)安裝于伸縮盒(3)的上表面位置；

所述操作臺(2)包括外接環(21)、吸力塊(22)、夾持塊(23)、反吸塊(24)、連接桿(25)，所述吸力塊(22)嵌入于外接環(21)的內部位置，所述夾持塊(23)與連接桿(25)的內側活動卡合，所述反吸塊(24)與夾持塊(23)為一體化結構，所述連接桿(25)固定于外接環(21)的內側位置。

2.根據權利要求1所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述夾持塊(23)包括板體(a1)、彈力片(a2)、保護塊(a3)、受力板(a4)，所述彈力片(a2)安裝于受力板(a4)的內側與板體(a1)的底部位置，所述保護塊(a3)嵌固于受力板(a4)的底部位置。

3.根據權利要求2所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述受力板(a4)包括彈力條(a41)、透氣口(a42)、板面(a43)、承載板(a44)，所述彈力條(a41)安裝于板面(a43)的內側與承載板(a44)的內壁上端位置，所述透氣口(a42)與板面(a43)為一體化結構，所述板面(a43)與承載板(a44)的底部活動卡合。

4.根據權利要求3所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述板面(a43)包括聯動桿(b1)、增流片(b2)、中接輥(b3)、外接框(b4)，所述聯動桿(b1)與外接框(b4)為一體化結構，所述增流片(b2)與中接輥(b3)的邊側相連接，所述中接輥(b3)與聯動桿(b1)的底部活動卡合。

5.根據權利要求1所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述外接環(21)包括外環體(c1)、銜接珠(c2)、固定塊(c3)、內轉環(c4)，所述銜接珠(c2)與固定塊(c3)的邊側相連接，所述固定塊(c3)嵌固于內轉環(c4)的外側位置，所述內轉環(c4)與環體(c1)為一體化結構。

6.根據權利要求5所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述內轉環(c4)包括上置板(c41)、打底板(c42)、反彈片(c43)，所述上置板(c41)通過反彈片(c43)與打底板(c42)的上端相連接。

7.根據權利要求6所述的一種擾流式晶圓去膜設備，其特征在于：所述上置板(c41)包括承載板(d1)、撞擊塊(d2)、內接片(d3)，所述撞擊塊(d2)安裝于承載板(d1)的內部位置，所述內接片(d3)嵌固于承載板(d1)的內壁上端位置。