[發明專利]一種晶圓光刻機

在審

• 申請號: 202110147231.5
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN112859544A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 劉雪霞
• 申請（專利權）人: 廣州玩聚玩具有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種晶圓光刻機，其結構包括機體、調節裝置、顯示屏、通風機、指示燈、工作腔、散熱口，本發明在進行使用時，通過平滑片與羊角斜塊配合將晶圓芯片卡持在兩塊卡持凹盤之間，保證晶圓芯片可以穩定定位在兩塊卡持凹盤之間，使得晶圓芯片與載臺之間存在間隙，便于工作人員對加工后的晶圓芯片進行拿取，通過轉輪帶動卡接頭對晶圓芯片進行順時針翻轉度，翻轉后通過接觸弧片會直接與摩擦板相接觸產生較大的摩擦阻力，保證翻轉后晶圓芯片的平穩性，使得工作腔內部的光刻元件可以精準對晶圓芯片的另一面進行光刻加工處理，提高晶圓芯片的光刻效率。

技術領域

本發明涉及單晶硅加工領域，具體涉及到一種晶圓光刻機。

背景技術

隨著科技的發展，光刻技術的發展極為迅速，光刻技術對于微電子產業的發展十分重要，光刻技術是利用類似照相制版的原理，在半導體晶片表面的掩膜層上面刻蝕精細圖形的表面加工技術，再經過蝕刻工藝去除無用部分，通過翻轉元件對晶圓芯片進行轉動調整，便于雙面光刻，在進行光刻處理時，需要改進的地方：

在對晶圓進行光刻處理時，在光照作用下，借助光致抗蝕劑將掩膜版上的圖形轉移到基片上，在處理過程中，都是直接將晶圓芯片平放在載臺上，由于晶圓芯片外表呈圓盤狀與光盤結構相似，使得晶圓芯片會平貼在載臺上，不便于工作人員拿取，且在對晶圓芯片雙面進行加工過程中，需要工作人員對其進行翻面，使得晶圓芯片的光刻位置不準確，降低晶圓芯片的光刻效率。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明是通過如下的技術方案來實現：一種晶圓光刻機，其結構包括機體、調節裝置、顯示屏、通風機、指示燈、工作腔、散熱口，所述機體底部設有散熱口，所述機體與工作腔連為一體，所述工作腔內部安裝有調節裝置，所述工作腔與顯示屏通過電線連接，所述顯示屏與指示燈相接通，所述工作腔上設有與之相通的通風機。

作為發明內容的進一步優化，所述調節裝置包括有限位元件、轉桿、翻轉組件、卡持凹盤、牽拉條，所述限位元件設有兩個，兩個限位元件對稱緊扣在兩個卡持凹盤上，兩個所述卡持凹盤通過牽拉條相連接，所述卡持凹盤遠離牽拉條的一端與轉桿固定連接，所述轉桿與翻轉組件活動卡合，所述翻轉組件安裝在工作腔內部。

作為發明內容的進一步優化，所述轉桿包括有桿體、摩擦板、卡接頭，所述桿體上設有與之相焊接的卡接頭，所述卡接頭與摩擦板相套合，所述桿體平行插嵌在卡持凹盤上，所述卡接頭與翻轉組件活動卡合。

作為發明內容的進一步優化，所述翻轉組件包括有本體、轉輪、抵制件、支桿、活動連板，所述本體中間位置連接有支桿，所述本體上設有與之相連接的活動連板，所述活動連板兩端均設有轉輪，所述活動連板朝向轉輪的一端中間位置上設有與之相接的抵制件，所述轉輪與轉桿活動卡合，所述本體安裝在工作腔內部。

作為發明內容的進一步優化，所述抵制件包括有對抵桿、彈拉條、三角撐板、接觸弧片，所述對抵桿設有兩根，兩根對抵桿對稱連接在三角撐板兩側且兩者相扣接，所述三角撐板遠離對抵桿的一端設有與之相貼合的接觸弧片，兩根所述對抵桿之間連接有彈拉條，所述對抵桿連接在活動連板內部。

作為發明內容的進一步優化，所述對抵桿包括有推塊、銜接條、弧滑塊、引導彎板、彈韌板，所述推塊設有兩塊，兩塊推塊通過銜接條相連接，兩塊所述推塊遠離銜接條的一端貼合在引導彎板內壁，所述引導彎板一端與弧滑塊固定連接，另一端與彈韌板相扣接，所述彈韌板遠離引導彎板的一端與三角撐板相扣接，所述引導彎板與彈拉條相連接，所述引導彎板連接在活動連板內部。

作為發明內容的進一步優化，所述限位元件包括有凹接槽、接板、貼塊，所述凹接槽兩側均設有與之相連接的貼塊，所述貼塊固定連接在接板上，所述接板緊扣在卡持凹盤上。