[發明專利]一種晶圓光刻機

在審

• 申請號: 202110147231.5
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN112859544A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 劉雪霞
• 申請（專利權）人: 廣州玩聚玩具有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓光刻機，其結構包括機體(1)、調節裝置(2)、顯示屏(3)、通風機(4)、指示燈(5)、工作腔(6)、散熱口(7)，其特征在于：

所述機體(1)底部設有散熱口(7)，所述機體(1)與工作腔(6)連為一體，所述工作腔(6)內部安裝有調節裝置(2)，所述工作腔(6)與顯示屏(3)、指示燈(5)相通電，所述工作腔(6)上設有與之相通的通風機(4)；

所述調節裝置(2)包括有限位元件(21)、轉桿(22)、翻轉組件(23)、卡持凹盤(24)、牽拉條(25)，所述限位元件(21)緊扣在卡持凹盤(24)上，所述卡持凹盤(24)與牽拉條(25)相連接，所述卡持凹盤(24)與轉桿(22)固定連接，所述轉桿(22)與翻轉組件(23)活動卡合，所述翻轉組件(23)安裝在工作腔(6)內部。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述轉桿(22)包括有桿體(221)、摩擦板(222)、卡接頭(223)，所述桿體(221)上設有卡接頭(223)，所述卡接頭(223)與摩擦板(222)相套合，所述桿體(221)插嵌在卡持凹盤(24)上，所述卡接頭(223)與翻轉組件(23)活動卡合。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述翻轉組件(23)包括有本體(231)、轉輪(232)、抵制件(233)、支桿(234)、活動連板(235)，所述本體(231)連接有支桿(234)，所述本體(231)上安裝有活動連板(235)，所述活動連板(235)兩端均設有轉輪(232)，所述活動連板(235)上設有抵制件(233)，所述轉輪(232)與轉桿(22)活動卡合，所述本體(231)安裝在工作腔(6)內部。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述抵制件(233)包括有對抵桿(331)、彈拉條(332)、三角撐板(333)、接觸弧片(334)，所述對抵桿(331)與三角撐板(333)相扣接，所述三角撐板(333)與接觸弧片(334)相貼合，所述對抵桿(331)與彈拉條(332)連接，所述對抵桿(331)連接在活動連板(235)內部。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述對抵桿(331)包括有推塊(T1)、銜接條(T2)、弧滑塊(T3)、引導彎板(T4)、彈韌板(T5)，所述推塊(T1)與銜接條(T2)相連接，所述推塊(T1)貼合在引導彎板(T4)上，所述引導彎板(T4)與弧滑塊(T3)、彈韌板(T5)相接，所述彈韌板(T5)與三角撐板(333)相扣接，所述引導彎板(T4)與彈拉條(332)相連，所述引導彎板(T4)連接在活動連板(235)內部。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述限位元件(21)包括有凹接槽(211)、接板(212)、貼塊(213)，所述凹接槽(211)兩側均設有貼塊(213)，所述貼塊(213)固定連接在接板(212)上，所述接板(212)緊扣在卡持凹盤(24)上。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述凹接槽(211)包括有氣墊(111)、軟板(112)、三角連塊(113)、平滑片(114)、防護件(115)，所述氣墊(111)連接在三角連塊(113)上，所述三角連塊(113)與軟板(112)相貼合，所述三角連塊(113)上安裝有防護件(115)，所述三角連塊(113)通過氣墊(111)與平滑片(114)相連接，所述氣墊(111)與貼塊(213)相接。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓光刻機，其特征在于：所述防護件(115)包括有彈簧(U1)、形變條(U2)、羊角斜塊(U3)，所述彈簧(U1)與形變條(U2)相接觸，彈簧(U1)與三角連塊(113)相連接，所述形變條(U2)與羊角斜塊(U3)相扣合。