[發明專利]一種電子級六氟化硫的多級制備方法

有效

• 申請號: 202110142779.0
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號: CN112850654B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 華祥斌;賴金香;張朝春;劉志強;羅浩;邱桂祥
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技有限公司
• 主分類號: C01B17/45
• 分類號: C01B17/45
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

本發明提供了一種電子級六氟化硫的多級制備方法，包括：將氟氣通入臥式SF₆反應單元，并與硫磺蒸汽在195～205℃持續反應形成SF₆粗氣；將反應單元SF₆粗氣除塵后通入熱解單元中，將SF₆粗氣中的S₂F₁₀氣體熱解；將步驟S2處理后的混合氣體通入水洗單元進行水洗，得到一級純化氣體；將反應單元一級純化氣體通入堿洗單元進行堿洗，得到二級純化氣體；將反應單元二級純化氣體通入水氣分離單元以去除水分得到三級純化氣體；將反應單元三級純化氣體通入低壓吸附單元中吸附，得到四級純化氣體；將反應單元四級純化氣體通入高壓吸附單元中吸附得到五級純化氣體；將反應單元五級純化氣體通入精餾單元進行精餾，得到電子級六氟化硫。

技術領域

本發明涉及一種電子級六氟化硫的多級制備方法。

背景技術

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的穩定氣體，其分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。經常用于新一代超高壓絕緣介質材料以及電子設備和雷達波導的氣體絕緣體。電子級六氟化硫(純度在99.999％以上)是電子氣體的一種。高純SF₆是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。目前我國電子行業使用的高純SF₆主要還是進口。目前，國內廠家的工業級六氟化硫純度大于99.9％，以市售的工業級六氟化硫為主。綜上所述，國內特別需要一種電子級六氟化硫多級制備方法，以解決上述現有存在的問題。

發明內容

本發明提供了一種電子級六氟化硫的多級制備方法，可以有效解決上述問題。

本發明是這樣實現的：

一種電子級六氟化硫的多級制備方法，包括以下步驟：

S1，將氟氣通入臥式SF₆反應單元，并將硫磺連續進入反應室并加熱形成硫磺蒸汽與所述氟氣在195～205℃持續反應形成SF₆粗氣；

S2，將所述SF₆粗氣除塵后通入熱解單元中，將SF₆粗氣中的S₂F₁₀氣體分解為SF₆和SF₄；

S3，將步驟S2處理后的混合氣體通入水洗單元進行水洗，除去混合氣體中的氟氣、低硫氟化物，得到一級純化氣體；

S4，將所述一級純化氣體通入堿洗單元進行堿洗，除去HF、CO₂、SO₂氣體，得到二級純化氣體；

S5，將所述二級純化氣體通入水氣分離單元以去除水分得到三級純化氣體；

S6，將所述三級純化氣體通入低壓吸附單元中吸附，去除微量水分和酸性物質，得到四級純化氣體；

S7，將所述四級純化氣體通入高壓吸附單元中吸附低硫氟氧化物以及微量HF、H₂O，得到五級純化氣體；

S8，將所述五級純化氣體通入精餾單元進行精餾除雜，得到電子級六氟化硫。