[發明專利]一種具有吹氣保護的MEMS MIC在審
| 申請號： | 202110132717.1 | 申請日： | 2021-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN112449294A | 公開（公告）日： | 2021-03-05 |
| 發明（設計）人： | 陶繼方;劉志永;朱法超 | 申請（專利權）人： | 山東新港電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 濰坊中潤泰專利代理事務所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261200 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 吹氣 保護 mems mic | ||
1.一種具有吹氣保護的MEMS MIC，包括MEMS外殼（1），其特征在于：所述MEMS外殼（1）下端連接有PCB板（2），所述PCB板（2）與MEMS外殼（1）之間形成音腔，所述音腔內安裝有MEMS聲壓傳感器（6），所述MEMS聲壓傳感器（6）與PCB板（2）固定連接，所述PCB板（2）為多層結構PCB板，所述PCB板（2）上設有入聲孔組件（3），入聲孔組件（3）包括第一入聲孔（31）和第二入聲孔（33），所述PCB板（2）內蝕刻有分支音道（32），所述第一入聲孔（31）與第二入聲孔（33）之間通過分支音道（32）連通，所述PCB板（2）上設有彈性阻音片（4），所述彈性阻音片（4）與第二入聲孔（33）相對設置，所述彈性阻音片（4）一段固定在PCB板（2）上，所述彈性阻音片（4）另一端游離設置。
2.根據權利要求1所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述PCB板（2）上連接有ASIC芯片（5），所述ASIC芯片（5）在音腔內通過PCB板（2）上的電氣線路與MEMS聲壓傳感器（6）連接。
3.根據權利要求1所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述MEMS聲壓傳感器（6）包括硅振膜（62）和硅背極板（61），所述硅振膜（62）與硅背極板（61）平行設置，所述硅背極板（61）邊緣固定連接有支撐套筒（63），所述支撐套筒（63）與PCB板（2）固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入聲孔（31）與MEMS聲壓傳感器（6）相對設置。
5.根據權利要求1所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述第二入聲孔（33）與彈性阻音片（4）相對設置。
6.根據權利要求1所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入聲孔（31）和第二入聲孔（33）中至少一個貫穿PCB板（2）。
7.根據權利要求6所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入聲孔（31）貫穿PCB板（2），所述第一入聲孔（31）連通音腔和外部。
8.根據權利要求6所述的一種具有吹起保護的MEMS MIC，其特征在于：所述第二入聲孔（33）不貫穿PCB板（2），所述第二入聲孔（33）連通音腔與分支音道（32）。
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