[發明專利]一種提升子像素發光均衡的Micro-LED制造方法

有效

• 申請號: 202110115072.0
• 申請日: 2021-01-27
• 公開（公告）號: CN112951103B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 張永愛;繆志輝;周雄圖;吳朝興;郭太良;林堅普;林志賢
• 申請（專利權）人: 福州大學;閩都創新實驗室
• 主分類號: G09F9/33
• 分類號: G09F9/33;G03F7/20;H01L27/15
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 丘鴻超;蔡學俊

本發明涉及一種提升子像素發光均衡的Micro?LED制造方法，該方法包括：在陣列基板的受光面涂覆光刻膠；調整掩膜版，使掩膜版的透光區對應至每個顯示像素；維持掩膜版與陣列基板相對位置不變，采用入射方向不同的三組光源同時透過掩膜版的透光區對不同組別的子像素進行曝光；其中，每組光源對應一組相同顏色的子像素，每組光源的光照強度和光照時間根據與該組光源對應顏色的子像素需填充的量子點膠體體積決定；使用顯影液對陣列基板上的光刻膠進行第一時間的溶解；烘干陣列基板，并對子像素進行刻蝕形成三種深度不同的儲液槽。該方法有利于提高子像素的發光亮度均衡，提升顯示效果。

技術領域

本發明屬于顯示器領域，特別涉及一種提升子像素發光均衡的Micro-LED制造方法。

背景技術

Micro-LED(微型發光二極管)是新一代顯示技術，比現有的OLED(有機發光二極管)技術亮度更高、發光效率更好、但功耗更低。Micro-LED技術，將LED結構設計進行薄膜化、微小化、陣列化，其尺寸僅在1～10μm等級左右。Micro-LED最大的優勢來自于微米等級的間距，每一點像素(pixel)都能定址控制及單點驅動發光、壽命長、應用范疇廣。

量子點QDs是一種由II-VI或III-V族元素組成的半導體納米顆粒，其尺寸一般為幾納米至數十納米之間。量子點材料由于量子限域效應的存在，原本連續的能帶變成分立的能級結構，受外界激發后可發射可見光。量子點材料由于其發光峰具有較小的半高寬且發光顏色可通過量子點材料的尺寸、結構或成分進行調節，應用在Micro-LED顯示領域將會提升顏色的飽和度和色域。量子點材料由于其特性，作為發光晶粒常應用于Micro-LED中。

在Micro-LED中，封裝紅、綠、藍三種顏色對應的量子點時一般采用相同大小的儲液槽(凹槽)，但是不同顏色對應的量子點膠體封裝的量不同，導致對儲液槽進行封膠時，封膠厚度也不同，進一步導致不同顏色子像素的發光亮度不均衡，顯示效果變差。

發明內容

本發明的目的在于提供一種提升子像素發光均衡的Micro-LED制造方法，該方法有利于提高子像素的發光亮度均衡，提升顯示效果。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：一種提升子像素發光均衡的Micro-LED制造方法，所述Micro-LED包括紅色子像素、綠色子像素以及藍色子像素，每個子像素包括一個儲液槽，每個儲液槽中填充量子點膠體，每個儲液槽下方設置一個UV-LED；所述方法包括：

在陣列基板的受光面涂覆光刻膠；其中，所述陣列基板包括陣列排布的顯示像素，每個顯示像素包括所述紅色子像素、所述綠色子像素以及所述藍色子像素；

調整掩膜版，使所述掩膜版的透光區對應至每個所述顯示像素；

維持所述掩膜版與所述陣列基板相對位置不變，采用入射方向不同的三組光源同時透過所述掩膜版的透光區對不同組別的子像素進行曝光；其中，每組光源對應一組相同顏色的子像素，每組光源的光照強度和光照時間根據與該組光源對應顏色的子像素需填充的量子點膠體體積決定；

使用顯影液對所述陣列基板上的光刻膠進行第一時間的溶解；

烘干所述陣列基板，并對所述子像素進行刻蝕形成三種深度不同的儲液槽。

進一步地，所述方法還包括：

根據所述三組光源的入射方向、所述子像素的曝光寬度以及同一個顯示像素中兩個相鄰子像素的間隙，獲得所述掩膜版與陣列基板之間的距離，所述掩膜版與所述陣列基板之間的距離d滿足d＝(p+q)×|cotθ₁|的關系；