[發明專利]一種異質結太陽能電池前電極及其制備方法在審
| 申請號： | 202110098442.4 | 申請日： | 2021-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN112921289A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 王正安;來華杭;郭峰;俞峰;周海龍 | 申請（專利權）人： | 浙江上方電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州合信專利代理事務所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 沈自軍 |
| 地址： | 312366 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 異質結 太陽能電池 電極 及其 制備 方法 | ||
1.一種異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，包括：
采用磁控濺射方法依次在異質結太陽能電池的PN結上沉積組成前電極的種子層和主層；
種子層的磁控濺射工藝為：采用包含兩個靶材的雙極磁控濺射系統進行磁控濺射，兩個靶材的濺射粒子流相互碰撞散射后沉積在異質結太陽能電池的PN結上；
主層的磁控濺射工藝為：采用至少包含一個靶材的磁控濺射系統進行磁控濺射，各靶材的濺射粒子流以垂直于種子層的方向沉積在種子層上。
2.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，所述雙極磁控濺射系統中，兩個靶材各自獨立旋轉。
3.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，所述雙極磁控濺射系統中，各靶材內部設置有用于控制粒子流濺射方向的磁棒，各磁棒獨立旋轉。
4.根據權利要求3所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，所述雙極磁控濺射系統中，靶材與磁棒各自獨立旋轉。
5.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，所述雙極磁控濺射系統中，兩個靶材的濺射粒子流的夾角為40～180°。
6.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，所述雙極磁控濺射系統中，兩個靶材的濺射粒子流的夾角為120～140°。
7.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，在前電極制備過程中，兩個靶材內的磁棒角度持續變化或調整至預定角度后保持靜止。
8.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池前電極的制備方法，其特征在于，種子層的磁控濺射工藝參數為：沉積工藝氣壓0.6～1.2Pa，功率密度1～2KW/m；主層的磁控濺射工藝參數為：沉積工藝氣壓0.3-0.6Pa，功率密度小于10KW/m。
9.一種異質結太陽能電池前電極，其特征在于，采用如權利要求1～8任一項所述的制備方法制備得到。
10.根據權利要求9所述的異質結太陽能電池前電極，其特征在于，所述種子層的厚度為8～15nm，所述主層的厚度為90～110nm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江上方電子裝備有限公司，未經浙江上方電子裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110098442.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種電感元件及其制造方法
- 下一篇：一種高粘度膠帶及其制備工藝
- 同類專利
- 專利分類
