[發明專利]一種具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備

在審

• 申請號: 202110087108.9
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN112934808A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 王泉龍
• 申請（專利權）人: 徐州中輝光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677;F26B15/18;F26B21/00;F26B23/06
• 代理公司: 蘇州創策知識產權代理有限公司 32322
• 代理人: 顏海良

本發明公開了一種具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備，包括底座、吸料機構、電動閥門、濾罩和承載架，所述電動閥門貫穿底座的前端面與儲水槽相貫通，所述輸水管道的前側與第一分支管道相連接，所述通水通道固定在第二支板之間，所述第三支板之間固定有通氣通道，所述氣泵的后側通過輸氣管道與第二分支管道相連接，所述承載架固定在底座上端面的右側，所述承載架的右側和第一支板的外側均設置有第四支板。該具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備，硅片在第二傳送帶裝置的運轉作用下向右移動的過程中，第一噴頭向內側噴水，方便對硅片進行清洗處理，第二噴頭向內側噴氣，方便吹除硅片表面的水分，以便完成初步風干處理。

技術領域

本發明涉及硅片相關技術領域，具體為一種具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備。

背景技術

地殼中含量達25.8％的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉，由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一，對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場的產品而言，儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一，在加工硅片的過程中，為了將壘垛在一起的硅片分散開來，則需要使用到擴散設備，現有的擴散設備將壘垛在一起的硅片分散開來之后不便對每一個硅片進行清洗烘干處理，自動化程度不高，且整個操作過程不夠連續高效。

發明內容

本發明的目的在于提供一種具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備，以解決上述背景技術中提出的現有的擴散設備將壘垛在一起的硅片分散開來之后不便對每一個硅片進行清洗烘干處理，自動化程度不高，且整個操作過程不夠連續高效的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種具有自動清洗烘干功能的硅片擴散設備，包括底座、吸料機構、電動閥門、濾罩和承載架，

底座，所述底座上端面的左側固定有第一支板，且前側第一支板的前端面固定有控制面板，同時第一支板之間轉動連接有第一傳送帶裝置，所述第一傳送帶裝置的右側設置有支架，且支架固定在底座上，同時支架的頂部轉動連接有轉架；

吸料機構，所述吸料機構固定在轉架的下端面上；

電動閥門，所述電動閥門貫穿底座的前端面與儲水槽相貫通，且儲水槽開設在底座的上端面，所述儲水槽的底部放置有水泵，且水泵貫穿底座的后側與輸水管道相連接，所述輸水管道的前側與第一分支管道相連接，且第一分支管道貫穿后側的第二支板與通水通道相連接，所述通水通道固定在第二支板之間，且第二支板的右側設置有第三支板，同時第二支板和第三支板均固定在底座上端面的前后兩側，所述第三支板之間固定有通氣通道，且上側通氣通道的頂部固定有氣泵，所述氣泵的后側通過輸氣管道與第二分支管道相連接，且第二分支管道貫穿后側的第二支板與通氣通道相連接；

承載架，所述承載架固定在底座上端面的右側，且承載架的內頂部和承載架的內側均固定有電熱板，所述承載架的右側和第一支板的外側均設置有第四支板，且第四支板固定在底座上，同時第一支板之間轉動連接有第二傳送帶裝置。

優選的，所述第一傳送帶裝置的外表面固定有隔板，且隔板等距離分布。

優選的，所述支架的頂部內固定有電機，且電機的上側通過電機軸轉動連接有轉架。

優選的，所述吸料機構包括電動伸縮住、吸泵和吸盤，且電動伸縮住固定在轉架的下端面上，同時電動伸縮住均勻分布。

優選的，所述電動伸縮住的底部與吸泵相連接，且吸泵的底部固定有吸盤。

優選的，所述濾罩罩放在水泵的外側，且濾罩固定在儲水槽底部的后側壁上。

優選的，所述通水通道的內端面貫穿有第一噴頭，且每個通水通道上設置有五組第一噴頭，同時每組第一噴頭等距離分布。

優選的，所述通氣通道的內端面貫穿有第二噴頭，且每個通氣通道上設置有五組第二噴頭，同時每組第二噴頭均勻分布。