[發明專利]一種氣相沉積鍍膜系統

有效

• 申請號: 202110075451.1
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112921306B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 鄧必龍;張向東
• 申請（專利權）人: 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/509
• 分類號: C23C16/509;C23C16/458
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種氣相沉積鍍膜系統，其特征在于，包括：

第一電極組件(1)，沿豎直方向設置；

多個第二電極組件(2)，沿豎直方向設置，且多個所述第二電極組件(2)繞所述第一電極組件(1)的周向間隔設置；

治具(3)，設置在所述第一電極組件(1)和所述第二電極組件(2)之間，在所述治具(3)上插設有與所述治具(3)相垂直的托盤(6)，所述托盤(6)用于盛放待鍍膜的工件；

公轉組件(4)，用于驅動所述治具(3)繞所述第一電極組件(1)的中心轉動；

自轉組件(5)，與所述治具(3)傳動連接，用于驅動所述治具(3)繞自身軸線轉動；

所述第一電極組件(1)包括：電極軸(13)、第一射頻電極片(11)和第一接地電極片(12)；

所述電極軸(13)沿豎直方向設置，所述第一射頻電極片(11)和所述第一接地電極片(12)相互平行且均垂直于所述電極軸(13)，且間隔交錯設置在所述電極軸(13)上，所述第一射頻電極片(11)與第一射頻電源電連接，所述第一接地電極片(12)與所述第一射頻電極片(11)相互絕緣；

所述公轉組件(4)包括公轉主動齒輪(41)和公轉從動齒輪(42)，所述公轉主動齒輪(41)與所述公轉從動齒輪(42)相嚙合，所述公轉從動齒輪(42)轉動設置在所述電極軸(13)上，所述治具(3)轉動設置在所述公轉從動齒輪(42)上；

所述自轉組件(5)包括自轉主動齒輪(51)、自轉中繼齒輪(52)和自轉從動齒輪(53)，所述自轉主動齒輪(51)、所述自轉中繼齒輪(52)和所述自轉從動齒輪(53)均轉動設置在所述公轉從動齒輪(42)上，所述自轉中繼齒輪(52)與所述自轉主動齒輪(51)相嚙合，所述自轉中繼齒輪(52)與所述自轉從動齒輪(53)相嚙合，所述自轉從動齒輪(53)與所述治具(3)連接；

所述治具(3)包括固定軸(31)和連接法蘭(32)，所述固定軸(31)沿豎直方向設置在所述連接法蘭(32)上，所述托盤(6)插設在所述固定軸(31)上，所述托盤(6)與所述固定軸(31)相垂直，且位于所述第一射頻電極片(11)和所述第一接地電極片(12)之間，所述連接法蘭(32)與所述自轉從動齒輪(53)連接；

所述固定軸(31)包括轉軸本體，彈性限位組件(33)沿豎直方向設置在所述轉軸本體的外周面上，所述托盤(6)插設在所述轉軸本體上時，所述彈性限位組件(33)與所述托盤(6)卡接。

2.根據權利要求1所述的一種氣相沉積鍍膜系統，其特征在于，所述第二電極組件(2)包括固定架(21)、第二射頻電極片(22)和第二接地電極片(23)；

所述固定架(21)沿豎直方向設置，所述第二射頻電極片(22)和所述第二接地電極片(23)相互平行且均垂直于所述電極軸(13)，且間隔交錯設置在所述固定架(21)上，所述第二射頻電極片(22)與第二射頻電源電連接，所述第二接地電極片(23)與所述第二射頻電極片(22)相互絕緣，所述第一射頻電極片(11)與所述第二射頻電極片(22)處于同一高度，所述第一接地電極片(12)與所述第二接地電極片(23)處于同一高度。

3.根據權利要求1所述的一種氣相沉積鍍膜系統，其特征在于，所述彈性限位組件(33)包括安裝件(331)、壓縮彈簧(332)和滾珠(333)，所述安裝件(331)固定設置在所述轉軸本體上，所述安裝件(331)具有中空腔，所述壓縮彈簧(332)設置在所述中空腔中，所述壓縮彈簧(332)的一端與所述中空腔的腔底抵接，另一端與所述滾珠(333)抵接，所述托盤(6)上設置有限位孔(621)，所述托盤(6)插設在所述轉軸本體上時，所述滾珠(333)與所述限位孔(621)卡接。

4.根據權利要求3所述的一種氣相沉積鍍膜系統，其特征在于，所述托盤(6)上開設有沿所述托盤(6)的邊緣向所述托盤(6)的中心延伸的卡接槽，于所述卡接槽遠離所述托盤(6)邊緣的一端設置有卡接部(622)，所述托盤(6)通過所述卡接部(622)與所述轉軸本體卡接。

5.根據權利要求4所述的一種氣相沉積鍍膜系統，其特征在于，所述卡接部上開設有導向槽(624)，所述導向槽(624)呈L形，所述導向槽(624)的一端與所述卡接槽連通，另一端與所述限位孔(621)連通，所述托盤(6)插設在所述轉軸本體上時，所述滾珠(333)沿所述導向槽(624)滑動至所述限位孔(621)中。