[發(fā)明專利]一種碳化硅功率模塊、器件及其老化狀態(tài)識別方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110070059.8 | 申請日: | 2021-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN112885824B | 公開(公告)日: | 2022-07-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 蘭欣;朱士偉;于功山;王興華;劉祥龍;謝國芳;吳平 | 申請(專利權(quán))人: | 元山(濟南)電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L25/16 | 分類號: | H01L25/16;H01L23/58;H01L29/16;G01R31/26 |
| 代理公司: | 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 陳曦 |
| 地址: | 250118 山東省*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 碳化硅 功率 模塊 器件 及其 老化 狀態(tài) 識別 方法 | ||
1.一種碳化硅功率模塊,其特征在于,所述模塊包括:覆銅陶瓷基板、銅基板、焊料層、MOS芯片以及預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶;
所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶均勻分布于所述焊料層的邊界對應(yīng)的銅基板底部位置;
所述銅基板與所述覆銅陶瓷基板復(fù)合,且所述覆銅陶瓷基板中心點對應(yīng)的銅基板底部位置固定有熱電偶;
所述MOS芯片固定于所述覆銅陶瓷基板上,且所述MOS芯片對應(yīng)的銅基板底部位置固定有熱電偶;
所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶通過耐高溫導(dǎo)熱膠帶均勻貼裝在所述焊料層的邊界對應(yīng)的銅基板底部位置;
所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶為8個熱電偶;
所述碳化硅功率模塊上的MOS芯片數(shù)量為n個,且各個所述MOS芯片對應(yīng)的銅基板底部位置均通過耐高溫導(dǎo)熱雙面膠貼裝有一個熱電偶;其中,n為大于等于1的整數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅功率模塊,其特征在于,所述功率模塊還包括SBD芯片;
所述SBD芯片直接固定于所述覆銅陶瓷基板上,且所述SBD芯片的數(shù)量與所述MOS芯片的數(shù)量相等。
3.一種碳化硅功率器件,其特征在于,包括如權(quán)利要求1- 2任意一項所述的一種碳化硅功率模塊。
4.一種如權(quán)利要求1- 2任意一項所述的碳化硅功率模塊的老化狀態(tài)識別方法,其特征在于,所述方法包括:
實時獲取所述碳化硅功率模塊上預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶分別對應(yīng)的溫度值,以確定溫度分布矩陣;
基于所述溫度分布矩陣,確定所述碳化硅功率模塊對應(yīng)的熱阻值;
根據(jù)所述碳化硅功率模塊對應(yīng)的熱阻值,通過預(yù)存的熱阻值與老化狀態(tài)關(guān)系,確定所述碳化硅功率模塊的老化狀態(tài);
在實時獲取所述碳化硅功率模塊上預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶分別對應(yīng)的溫度值之前,所述方法還包括:
確定所述碳化硅功率模塊上預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶的實際數(shù)量,并基于所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶的實際數(shù)量及位置對所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶進行編號;
所述溫度分布矩陣為行矩陣;
確定所述溫度分布矩陣,具體包括:
通過所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶分別對應(yīng)的編號,將所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶分別對應(yīng)的溫度值進行順序排列;
基于順序排列后的所述預(yù)設(shè)數(shù)量的熱電偶分別對應(yīng)的溫度值,確定溫度分布矩陣;
在確定所述碳化硅功率模塊對應(yīng)的熱阻值之后,所述方法還包括:
獲取所述碳化硅功率模塊對應(yīng)的基準熱阻值;其中,所述基準熱阻值為所述碳化硅功率模塊出廠時測得的熱阻值;
確定所述碳化硅功率模塊對應(yīng)的熱阻值與所述基準熱阻值之間的差值;
在所述差值大于預(yù)設(shè)閾值時,確定所述碳化硅功率模塊出現(xiàn)老化。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L25-00 由多個單個半導(dǎo)體或其他固態(tài)器件組成的組裝件
H01L25-03 .所有包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中同一小組內(nèi)的相同類型的器件,例如整流二極管的組裝件
H01L25-16 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個或多個不同大組內(nèi)的類型的器件,例如構(gòu)成混合電路的
H01L25-18 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個或多個同一大組的不同小組內(nèi)的類型的器件
H01L25-04 ..不具有單獨容器的器件
H01L25-10 ..具有單獨容器的器件





