[發明專利]一種四象限光電探測器測試系統及測試方法

在審

• 申請號: 202110067473.3
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112904171A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 王仕鑫;顧子悅;沈吉;徐建東;那啟躍;簡云飛
• 申請（專利權）人: 中國兵器工業集團第二一四研究所蘇州研發中心
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01J1/44
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 楊文文

1.一種四象限光電探測器測試系統，其特征在于：包括

用于提供激光脈沖光源的激光器；

用于提供單色光的單色儀；

所述激光器和單色儀之間連接有光路切換器；

用于接收光源的光學系統，所述光學系統包括準直透鏡、分光棱鏡和聚焦透鏡，所述光源經過所述準直透鏡后形成平行光，所述平行光經所述分光棱鏡分為第一光束和第二光束，所述第一光束投射在所述聚焦透鏡上，所述第二光束投射在光功率測量裝置上，所述光功率測量裝置用于測量所述第二光束的光功率，所述第一光束經所述聚焦透鏡后投射在光電探測器上；

移動裝置，所述光電探測器設置在所述移動裝置上，所述移動裝置帶動所述光電探測器移動；

測試源表，用于測量光電探測器信號的測試源表；

處理器，連接所述測試電路板、測試源表、激光器和/或單色儀，所述處理器用于接收和處理所述測試電路板、測試源表、激光器和/或單色儀的數據信息。

2.根據權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統，其特征在于：所述光電探測器固定在所述移動裝置上，所述移動裝置通過電機驅動，所述電機連接所述處理器。

3.根據權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統，其特征在于：所述分光棱鏡對所述平行光以5：5比例進行分光，所述第一光束為透射光，所述第二光束為反射光。

4.根據權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統，其特征在于：所述單色儀連接有寬光譜光源，所述寬光譜光源的光譜范圍為400～1200nm，單色儀波長調節步長為10nm。

5.根據權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統，其特征在于：所述光學系統、光電探測器和光功率測量裝置均置于暗箱內。

6.根據權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統，其特征在于：所述光電探測器連接有測試電路板，所述測試電路板用于放大光電探測器的信號。

7.一種基于權利要求1所述的四象限光電探測器測試系統的測量方法，其特征在于：包括以下步驟

S01通過所述光路切換器將光源切換至激光器或單色儀，所述激光器或單色儀發射光源；

S02通過控制移動裝置移動所述光電探測器，使所述第一光束經過所述聚焦透鏡后投射在所述光電探測器第一象限的中心位置；

S03通過控制所述移動裝置移動所述光電探測器，使所述第一光束經過所述聚焦透鏡后依次投射在所述光電探測器的第二象限、第三象限和第四象限位置；

S04所述處理器接收所述光電探測器在各象限的數據信息，并依據所述數據信號獲得光電探測器的光譜響應范圍、象限間串擾、暗電流和四象限輸出不一致性、上升時間。

8.根據權利要求7所述的四象限光電探測器測試系統的測量方法，其特征在于：所述光譜響應范圍的檢測方法為：

a通過所述光路切換器將光源切換至單色儀，所述單色儀發射寬光譜光源；

b通過控制移動裝置移動所述光電探測器，使所述第一光束經過所述聚焦透鏡后投射在所述光電探測器第一象限的中心位置；在所述光電探測器上設置反向偏壓，單色儀輸出設定波長的寬光譜光源；

c所述處理器接收所述光功率測量裝置檢測到的對應波長的光功率和所述測試源表檢測到的電流，通過所述波長、光功率和電流得到所述第一象限的光譜響應曲線；

d重復步驟b和c獲得所述光電探測器的第二象限、第三象限和第四象限的光譜響應曲線；

e依據光譜響應曲線得到光電探測器的光譜響應范圍。