[發(fā)明專利]一種齒輪動態(tài)嚙合力檢測薄膜傳感器及其應(yīng)用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110063419.1 | 申請日： | 2021-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN112985651B | 公開（公告）日： | 2022-04-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張琪;龐星;趙星越;趙玉龍 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16;G01L5/00;G01M13/021 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 齒輪 動態(tài) 嚙合 檢測 薄膜 傳感器 及其 應(yīng)用 方法 | ||
1.一種齒輪動態(tài)嚙合力檢測薄膜傳感器，其特征在于，包括：
絕緣層(2)，用于設(shè)置于齒輪基體(1)表面；其中，所述齒輪基體(1)包括齒輪軸(6)和輪齒；
電極，所述電極濺射于所述絕緣層(2)的表面；所述電極包括齒電極(3)和軸電極(7)，所述齒電極(3)和所述軸電極(7)通過導(dǎo)線(9)電連接；其中，所述齒電極(3)用于設(shè)置于輪齒的嚙合齒面或輪齒側(cè)面，所述軸電極(7)用于設(shè)置于齒輪軸(6)的表面；
壓力敏感元件(4)，包括：MoS2壓阻薄膜；其中，所述MoS2壓阻薄膜為弓形結(jié)構(gòu)，所述MoS2壓阻薄膜濺射于輪齒嚙合齒面的絕緣層(2)的表面；所述MoS2壓阻薄膜與所述齒電極(3)電連接；
其中，所述MoS2壓阻薄膜是利用硬質(zhì)掩蔽以磁控濺射的方法采用MoS2靶材濺射而成；
所述MoS2壓阻薄膜的厚度為1～5μm；
所述電極和所述MoS2壓阻薄膜均通過MEMS技術(shù)濺射而成；
還包括：保護層(5)；所述保護層(5)覆蓋所述MoS2壓阻薄膜、所述電極；所述絕緣層(2)、所述保護層(5)均為Si02涂層；電路板(8)，用于匯集、連接電極；所述電路板(8)布置于齒輪軸(6)的軸端，所述電路板(8)通過導(dǎo)線(9)與所述軸電極(7)實現(xiàn)電連接。
2.一種權(quán)利要求1所述的齒輪動態(tài)嚙合力檢測薄膜傳感器的應(yīng)用方法，其特征在于，用于齒輪動態(tài)嚙合力檢測。
3.一種權(quán)利要求1所述的齒輪動態(tài)嚙合力檢測薄膜傳感器的應(yīng)用方法，其特征在于，包括以下步驟：
在齒輪基體均勻濺射絕緣材料，形成絕緣層；
在絕緣層上利用硬質(zhì)掩蔽，采用磁控濺射的工藝制備圖形化的電極和MoS2壓阻薄膜；其中，所述MoS2壓阻薄膜與齒電極的輸入端接觸，齒電極的輸出端通過導(dǎo)線與軸電極電連接。
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