[發(fā)明專利]發(fā)光二極管外延片制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110061147.1
• 申請日: 2021-01-18
• 公開（公告）號: CN112993095B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高百卉;林曉文;張炳偉
• 申請（專利權(quán)）人: 華燦光電（蘇州）有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/30;H01L21/027
• 代理公司: 北京三高永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

本公開提供了發(fā)光二極管外延片制備方法，屬于發(fā)光二極管制作領(lǐng)域。將第一襯底遠離外延層的表面與第二襯底相連，第一襯底與第二襯底相互平行，且第一襯底在第二襯底的表面上的投影位于第二襯底的表面內(nèi)。第二襯底對第一襯底以及第一襯底上的外延層起到支撐定位作用，在外延層上可以穩(wěn)定涂覆光刻膠，并將第一襯底及第二襯底放置在曝光機上進行后續(xù)曝光顯影等操作。實現(xiàn)外延層上的圖案的穩(wěn)定制備，破損的第一襯底及第一襯底上的外延層可以繼續(xù)發(fā)光二極管外延片的制備，第一襯底及第一襯底上的外延層不至于報廢，減小浪費并提高同爐生產(chǎn)的發(fā)光二極管外延片的制備成功率。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及發(fā)光二極管制作領(lǐng)域，特別涉及發(fā)光二極管外延片制備方法。

背景技術(shù)

發(fā)光二極管是一種能發(fā)光的半導(dǎo)體電子元件。作為一種高效、環(huán)保、綠色新型固態(tài)照明光源，正在被迅速廣泛地得到應(yīng)用，如交通信號燈、汽車內(nèi)外燈、城市景觀照明、手機背光源等，提高芯片發(fā)光效率是發(fā)光二極管不斷追求的目標(biāo)。

發(fā)光二極管外延片是發(fā)光二極管制備過程中的初級成品，發(fā)光二極管外延片至少包括襯底與層疊在襯底上的外延層。部分發(fā)光二極管外延片在制備過程中，需要經(jīng)過在襯底上生長外延層，將外延層轉(zhuǎn)移至新的襯底上，再對外延層的表面進行圖案化處理的過程。但在將外延層在轉(zhuǎn)移至新的襯底之后，容易出現(xiàn)新的襯底被撞擊損壞的情況。襯底被撞擊損壞之后，外延層及新的襯底難以進行后續(xù)的涂覆光刻膠并制備圖案的過程，造成外延層與破損襯底報廢的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本公開實施例提供了發(fā)光二極管外延片制備方法，能夠提高降低外延層及破損襯底報廢的情況，減少浪費。所述技術(shù)方案如下：

本公開實施例提供了一種發(fā)光二極管外延片制備方法，所述發(fā)光二極管外延片制備方法包括：

提供一外延層，所述外延層層疊在破損的第一襯底上；

將所述第一襯底遠離所述外延層的表面與第二襯底相連，所述第一襯底與所述第二襯底相互平行，且所述第一襯底在所述第二襯底的表面上的投影位于所述第二襯底的表面內(nèi)；

在所述外延層遠離所述第一襯底的表面涂覆光刻膠以制備圖案。

可選地，將所述第一襯底遠離所述外延層的表面連接在第二襯底的表面上，包括：

在所述第二襯底的表面涂覆一層粘連光刻膠，所述粘連光刻膠的表面平行于所述第二襯底的表面；

將所述第一襯底遠離所述外延層的表面粘連在所述粘連光刻膠上。

可選地，在所述外延層遠離所述第一襯底的表面涂覆粘連光刻膠以制備圖案，包括：

對所述外延層上的光刻膠依次進行烘烤、曝光、顯影及刻蝕的操作，以在所述外延層上制備圖案。

可選地，所述發(fā)光二極管外延片制備方法，還包括：

使用噴氣槍分離所述第一襯底與所述第二襯底之間經(jīng)烘烤固化的粘連光刻膠。

可選地，所述噴氣槍的噴嘴的軸線平行于所述第一襯底的表面。

可選地，所述發(fā)光二極管外延片制備方法，還包括：

使用所述噴氣槍向所述第一襯底與所述第二襯底之間的粘連光刻膠噴氣，直至所述第一襯底與所述粘連光刻膠之間出現(xiàn)縫隙；

分離所述第一襯底與所述粘連光刻膠。

可選地，將所述第一襯底遠離所述外延層的表面連接在第二襯底的表面上，還包括：

使用雙面膠粘連所述第一襯底遠離所述外延層的表面與所述第二襯底，所述雙面膠的失效溫度低于或等于粘連光刻膠的烘烤溫度。

可選地，所述第一襯底的破損面積小于所述第一襯底整體面積的50％。