[發明專利]一種光器件

在審

• 申請號: 202110050446.5
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112859387A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊妍
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 王勝利

1.一種光器件，其特征在于，包括：基底、以及形成在所述基底內的光波導和加熱電極；

所述光波導為蛇型光波導，所述光波導包括多個第一波導部、以及至少一個第二波導部；多個所述第一波導部沿著所述光波導的寬度方向分布在所述基底內；相鄰兩個所述第一波導部通過相應所述第二波導部相連；

所述加熱電極位于多個所述第一波導部的上方，所述加熱電極的長度小于或等于多個所述第一波導部中的最大長度，所述加熱電極用于加熱多個所述第一波導部。

2.根據權利要求1所述的光器件，其特征在于，所述第一波導部為直線波導部；所述第二波導部為弧形波導部。

3.根據權利要求2所述的光器件，其特征在于，多個所述第一波導部相互平行設置；和/或，

沿著所述第一波導部的長度方向，多個所述第一波導部的兩端平齊；和/或，

多個所述第一波導部之間具有間隔，相鄰所述第一波導部之間的所述間隔相同或不相同。

4.根據權利要求3所述的光器件，其特征在于，當多個所述第一波導部之間具有間隔時，相鄰兩個所述第一波導部之間的間隔大于或等于4微米。

5.根據權利要求2所述的光器件，其特征在于，每個所述弧形波導部的彎曲半徑大于或等于10微米。

6.根據權利要求2所述的光器件，其特征在于，每個所述弧形波導部的彎曲角度相同或不相同。

7.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述加熱電極為形成在多個所述第一波導部上方的帶狀加熱電極，所述帶狀加熱電極的寬度大于兩個邊緣波導部的間距；其中，

兩個所述邊緣波導部為：沿著所述第一波導部的寬度方向，多個所述第一波導部中位于邊緣位置的兩個第一波導部。

8.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述加熱電極包括并聯的多個條狀加熱電極，所述條狀加熱電極的數量等于所述光波導所包括的第一波導部的數量，每個所述條狀加熱電極位于相應所述第一波導部的上方，每個所述條狀加熱電極的寬度大于相應所述第一波導部的寬度。

9.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述基底包括襯底、以及形成在所述襯底上的介電層；所述光波導和所述加熱電極形成在所述介電層內。

10.根據權利要求9所述的光器件，其特征在于，沿著所述基底的厚度方向，所述介電層內開設有貫穿所述介電層的第一溝槽和第二溝槽；

所述第一溝槽和所述第二溝槽沿著所述加熱電極的寬度方向分布在所述介電層內，且沿著所述加熱電極的長度方向延伸；所述加熱電極和多個所述第一波導部均位于所述第一溝槽和所述第二溝槽之間。