[發(fā)明專利]柔性音頻傳感器和柔性音頻傳感器的制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110050004.0
• 申請(qǐng)日: 2021-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN112887879A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮雪;何申偉;彭祖軍;閆宇;李珂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江清華柔性電子技術(shù)研究院;清華大學(xué)
• 主分類號(hào): H04R7/04
• 分類號(hào): H04R7/04;H04R17/02
• 代理公司: 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33250
• 代理人: 趙潔修

1.一種柔性音頻傳感器，其特征在于，包括：

支架，所述支架具有開口；

第一組件，包括附接在所述支架上的有機(jī)薄膜和附接在所述有機(jī)薄膜的朝向所述支架的表面上的第一電極，所述第一組件至少在對(duì)應(yīng)于所述開口的區(qū)域形成有鏤空孔陣列；

第二組件，包括附接在所述有機(jī)薄膜的背向所述支架的表面上的超薄紙薄膜和附接在所述超薄紙薄膜的朝向所述有機(jī)薄膜的表面上的第二電極，所述第二組件至少在對(duì)應(yīng)于所述開口的區(qū)域形成有微米孔陣列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述有機(jī)薄膜包括聚四氟乙烯薄膜、聚酯薄膜或氟化乙烯丙烯共聚物薄膜；和/或，

所述有機(jī)薄膜的朝向所述超薄紙薄膜的表面上形成有高分子納米線；和/或，

所述有機(jī)薄膜的厚度為20-100μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述高分子納米線的直徑或橫向尺寸為45-55nm，長度為0.5-1.5μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述第一組件中，至少所述有機(jī)薄膜上的所述鏤空孔陣列包括多個(gè)鏤空孔組，每個(gè)所述鏤空孔組由多個(gè)鏤空孔組成，其中，多個(gè)所述鏤空孔組將所述有機(jī)薄膜的至少對(duì)應(yīng)于所述開口的區(qū)域劃分為多個(gè)子區(qū)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，

所述微米孔陣列構(gòu)造成方形陣列，每個(gè)所述鏤空孔組由成直線排列的多個(gè)所述鏤空孔組成，且多個(gè)所述鏤空孔組成交叉排布以在所述有機(jī)薄膜上構(gòu)造出方形的子區(qū)；或，

所述微米孔陣列構(gòu)造成圓形或橢圓形陣列，每個(gè)所述鏤空孔組由成環(huán)形排列的多個(gè)所述鏤空孔組成，以在所述有機(jī)薄膜上構(gòu)造出環(huán)形的子區(qū)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，每個(gè)所述鏤空孔的孔徑為400-600μm，相鄰的兩個(gè)所述鏤空孔之間的距離為450-550μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述超薄紙薄膜選用厚度為20-40μm的超薄臨摹紙。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述微米孔陣列的開孔率為30-40％；和/或，

所述微米孔陣列由多個(gè)微米孔構(gòu)成，其中每個(gè)所述微米孔的直徑為350-450μm，相鄰兩個(gè)所述微米孔之間的距離為150-250μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的柔性音頻傳感器，其特征在于，所述第一電極由濺射在所述有機(jī)薄膜的表面上的第一金屬材料層構(gòu)成，所述第二電極由濺射在所述超薄紙薄膜的表面上的第二金屬材料層構(gòu)成。

10.一種柔性音頻傳感器的制作方法，其特征在于，包括：

制備具有開口的支架；

將第一電極附接在有機(jī)薄膜的一側(cè)表面上以形成第一組件，并在第一組件中形成鏤空孔陣列；

將第二電極附接在超薄紙薄膜的一側(cè)表面上以形成第二組件，并在第二組件中形成微米孔陣列；

將所述第二組件附接在所述第一組件上，并使所述超薄紙薄膜的附接有所述第二電極的表面朝向所述第一組件，且所述微米孔陣列與所述鏤空孔陣列相對(duì)應(yīng)；

將所述第一組件附接在所述支架上，并使所述有機(jī)薄膜的附接有所述第一電極的表面朝向所述支架，且所述鏤空孔陣列與所述開口相對(duì)應(yīng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性音頻傳感器的制作方法，其特征在于，所述將第一電極附接在有機(jī)薄膜的一側(cè)表面上以形成第一組件，并在第一組件中形成鏤空孔陣列，還包括：

在所述有機(jī)薄膜的未附接所述第一電極的表面上以等離子蝕刻形成高分子納米線。