[發明專利]一種多節MEMS探針關鍵尺寸測量用探針裝載方法在審
| 申請號： | 202110049613.4 | 申請日： | 2021-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN112858734A | 公開（公告）日： | 2021-05-28 |
| 發明（設計）人： | 于海超 | 申請（專利權）人： | 強一半導體（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/04 | 分類號： | G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 探針 關鍵 尺寸 測量 裝載 方法 | ||
1.一種多節MEMS探針關鍵尺寸測量用探針裝載方法，其特征在于，所述多節MEMS探針包括上部探針(1-4-1)，中部探針(1-4-2)和下部探針(1-4-3)，所述上部探針(1-4-1)的底部設置有孔，所述下部探針(1-4-3)的頂部設置有孔，中部探針(1-4-2)分別插入上部探針(1-4-1)的孔和下部探針(1-4-3)的孔中，形成兩套孔軸配合結構；
所述多節MEMS探針關鍵尺寸測量用探針裝載方法包括以下步驟：
步驟a、在被測件(4-5)的待測面反光鍍膜，在裝載臺(4-8-2)的上表面吸光鍍膜，所述被測件(4-5)為上部探針(1-4-1)，中部探針(1-4-2)或下部探針(1-4-3)；
步驟b、在上部參考臺(4-8-1-2)與裝載臺(4-8-2)折疊后，被測件(4-5)待測面向下，貼邊沿擺放到裝載臺(4-8-2)框狀結構中；
步驟c、調節測試環境溫度到常溫或裸芯工作環境溫度，使上部探針(1-4-1)或下部探針(1-4-3)完成熱脹冷縮或使中部探針(1-4-2)完成熱縮冷漲；
步驟d、調整擠壓結構(4-8-4)，將被測件(4-5)用擠壓結構(4-8-4)固定在裝載臺(4-8-2)框狀結構中，避免升降板(4-8-6)擠壓被測件(4-5)時使被測件(4-5)晃動，造成被測件(4-5)參數測試不準確；
步驟e、調整升降板(4-8-6)，使升降板(4-8-6)擠壓在被測件(4-5)上，升降板(4-8-6)表面涂覆的粘性材料粘貼住被測件(4-5)，并固定升降板(4-8-6)；
步驟f、調整擠壓結構(4-8-4)，將被測件(4-5)與擠壓結構(4-8-4)分離，避免擠壓結構(4-8-4)擠壓被測件(4-5)時使被測件(4-5)發生形變，造成被測件(4-5)參數測試不準確；
步驟g、將上部參考臺(4-8-1-2)與裝載臺(4-8-2)打開，此時，裝載臺(4-8-2)的下表面由下部承載臺(4-8-1-1)依托，裝載臺(4-8-2)的上表面與上部參考臺(4-8-1-2)位于同一水平面。
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