[發明專利]一種微孔光學元件輸入增強膜鍍膜工裝

有效

• 申請號: 202110046865.1
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112877648B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 李曉峰;龔燕妮;常樂;曾進能;潘治云;叢曉慶;張俊;周善堃;趙恒
• 申請（專利權）人: 北方夜視技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

本發明公開了一種微孔光學元件輸入增強膜鍍膜工裝，包括微孔光學元件固定裝置和設備連接裝置，裝置的特征在于：按照定位標記裝配微孔光學元件以保證孔方向與蒸發源平行，采用定位環將微孔光學元件固定于底座凹槽中，隨后用螺栓貫穿鍍膜蓋、定位環、微孔光學元件和底座等四個部分，在底座下方加上一層底板，最后用螺帽固定并完成微孔光學元件固定裝置的裝配。將裝配完成的微孔光學元件固定裝置放置于座上，然后將該裝置通過掛環固定在鍍膜設備上。設備連接裝置使得微孔光學元件固定裝置能夠適用于常規鍍膜設備。在常規工藝條件下，采用該裝置保證了鍍膜均勻性，以及批次間、批次內的膜層一致性，從而保證了微孔光學元件功能的一致性。

技術領域

本發明涉及微孔光學元件鍍膜技術領域，特別是涉及一種微孔光學元件輸入增強膜鍍膜工裝。

背景技術

微孔光學元件指由數百萬甚至千萬以上的微米級通道陣列組成的薄片，包括有微通道板、毛細管透鏡、聚焦元件、準直元件等，可應用于微光夜視、核爆診斷、X射線天文學、脈沖星導航、醫療、安檢等各領域。

在系統或產品中，微孔光學元件一般是作為功能件，即需要具備滿足要求的光學性能，因此，對于微孔光學元件而言除了結構符合設計要求外，還需要對其表面進行特殊處理，表面處理手段主要分為鍍膜和拋光兩大類。

以微通道板為例，在微光夜視系統中要求其具有電子倍增的功能。微通道板通過自身特有結構能夠實現電子倍增功能，其原理是輸入的電子在極間電場的作用下按照特定軌跡運動，進入微通道中實現電子倍增。

但并不是所有的輸入電子都能順利進行微通道中，部分電子會被非開口區電極層材料吸收變成無效電子，導致微通道板的電子倍增效率降低，此時我們就需要在微通道板輸入端制作一層增強膜，該膜的二次電子發射系數高，輸入電子轟擊在非開口區增強膜上產生二次電子，部分二次電子在電場作用下進入微通道，從而提高電子倍增效率。因此，如何制作輸入增強膜以及保證膜層的均勻一致性是保證微孔光學元件高性能的關鍵所在。

但是，由于微孔光學元件孔方向非垂直方向，若不保證鍍膜過程中孔方向與蒸鍍(金屬源)方向平行(實際也就是孔方向與固定裝置的軸線呈平行狀態)，會導致不同工位上的微孔光學元件膜層不均勻，導致其性能降低而無法滿足系統或產品的技術要求。因此，需要設計一款能夠保證微孔光學元件鍍膜均勻性的裝置。

發明內容

本發明為了克服上述現有技術的不足，本發明提供了一種微孔光學元件輸入增強膜鍍膜工裝。該裝置具有結構簡單、性價比高、適用范圍廣的特點。

本發明所采用的技術方案是：

一種微孔光學元件輸入增強膜鍍膜工裝，該工裝包括微孔光學元件固定裝置和設備連接裝置；所述微孔光學元件固定裝置位于設備連接裝置內，所述設備連接裝置位于鍍膜機頂部的夾具內。所述微孔光學元件固定裝置包括鍍膜蓋、定位環、微孔光學元件、底座、底板及定位標記；所述定位標記用于裝夾(標記)微孔光學元件的擺放位置并將微孔光學元件固定于底座上；所述定位環安裝在微孔光學元件的上方，在其上表面安裝有鍍膜蓋；所述底座的下方安裝一層底板；所述鍍膜蓋、定位環、微孔光學元件、底座和底板五個部分固定連接為一個整體；

所述設備連接裝置包括盤體、座、支撐桿及掛環；將裝配完成的微孔光學元件固定裝置放置于座上并進行固定，將固定好的座按照支撐桿方位安裝到盤體上，在盤體上安裝掛環。

所述底座包括上、下表面，與微孔光學元件接觸面為上表面，另一面為下表面；其上、下表面非平行，上表面外低內高，上、下表面的夾角等于微孔光學元件的斜切角。

優選的，所述底座和定位環的表面粗糙度Ra需達到1.6μm以上；所述定位環設置在底座上表面互為120°夾角的三個放置微孔光學元件圓形臺階外的圓形凹槽上。

優選的，還包括位于底座上R32.5mm處，且與兩個圓孔互為60°夾角的的定位釘及位于鍍膜蓋上的定位孔，所述定位釘與底座采用緊配合，與鍍膜蓋的定位孔相匹配。