[發明專利]玻璃組合物

有效

• 申請號: 202110038540.9
• 申請日: 2021-01-12
• 公開（公告）號: CN112707638B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 蔡冬雪
• 申請（專利權）人: 成都光明光電股份有限公司
• 主分類號: C03C3/095
• 分類號: C03C3/095;C03C3/091;C03C1/00
• 代理公司: 成都希盛知識產權代理有限公司 51226
• 代理人: 蒲敏

本發明提供一種玻璃組合物，所述玻璃組合物的組分以摩爾百分比表示，含有：SiO₂：57～84％、B₂O₃：9～36％、Al₂O₃：0.6～6.2％、Rn₂O：0.5～6.1％，其中Al₂O₃/B₂O₃為0.05～0.4，所述Rn₂O為Li₂O、Na₂O、K₂O中的一種以上。通過合理的組分設計，本發明玻璃組合物的相對介電常數較低，化學穩定性優異。

技術領域

本發明涉及一種玻璃組合物，尤其是涉及一種低介電常數的玻璃組合物。

背景技術

近年來，集成電路的集成度逐漸提高，射頻連接器、微波器件等工作頻率范圍也大幅提高。為了降低由此帶來的阻抗延時及功率損耗，除了采用低電阻率金屬外，重要的是降低介質層的寄生電容。電容(C)與介電常數成正比，因此，通過采用低介電常數材料作為互連介質，可以減小阻抗延遲，從而滿足集成電路發展的需要。除此之外，半導體領域對低介電常數材料的研究也日益增多，玻璃的介電性能已成為決定其在電子領域應用的重要指標之一。玻璃在制成元器件的過程中，會經過多輪的清洗，以及在使用過程中，玻璃元器件會遇到各種潮濕、酸、堿等環境，這就要求相關的玻璃材料具有優異的化學穩定性。因此，研發具有優異化學穩定性和較低介電常數的玻璃材料是時代的發展給科研工作者提出的一個新課題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種化學穩定性優異、相對介電常數較低的玻璃組合物。

本發明解決技術問題所采用的技術方案是：

(1)玻璃組合物，其組分以摩爾百分比表示，含有：SiO₂：57～84％、B₂O₃：9～36％、Al₂O₃：0.6～6.2％、Rn₂O：0.5～6.1％，其中Al₂O₃/B₂O₃為0.05～0.4，所述Rn₂O為Li₂O、Na₂O、K₂O中的一種以上。

(2)根據(1)所述的玻璃組合物，其組分以摩爾百分比表示，還含有：RO：0～5.1％、澄清劑：0～0.6％，所述RO為BaO、SrO、CaO、MgO中的一種以上，澄清劑為Sb₂O₃、SnO₂、SnO、CeO₂中的一種或多種。

(3)玻璃組合物，其組分中含有SiO₂、B₂O₃、Al₂O₃和Rn₂O，其組分以摩爾百分比表示，其中Al₂O₃/B₂O₃為0.05～0.4，所述玻璃組合物的相對介電常數ε為5.5以下，耐水作用穩定性D_w為2類以上，所述Rn₂O為Li₂O、Na₂O、K₂O中的一種以上。