[發明專利]銅鋁膜蝕刻液

有效

• 申請號: 202110029611.9
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN112877695B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 吳豪旭
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23F1/18
• 分類號: C23F1/18;C23F1/20
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

1.一種銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，相對于所述蝕刻液的總重量，以重量計，包含：4％至10％的過氧化氫，0.1％至1％的過氧化氫穩定劑，0.05％至0.5％的蝕刻抑制劑，10％至30％的螯合劑，0.2％至2％的表面活性劑，0.2％至5％的無機磷酸鹽或無機磷酸氫鹽，0.1％至5％的無機酸，以及余量的去離子水；

其中，所述蝕刻液不含氟化物，所述蝕刻液不含有添加劑。

2.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述過氧化氫穩定劑選自苯基脲、N,N'-二苯基脲或二苯氨基脲。

3.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述蝕刻抑制劑選自苯并唑類化合物。

4.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述螯合劑由有機酸和醇胺組成；所述有機酸相對于所述蝕刻液的總重量以重量計為8％至20％，所述醇胺相對于所述蝕刻液的總重量以重量計為2％至10％。

5.根據權利要求4所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述有機酸選自檸檬酸、丙二酸、二乙醇酸、馬來酸、羥基丁酸、丁二酸、蘋果酸、乙醇酸、鄰苯二甲酸、水楊酸、丙氨酸、天門冬酰胺和精氨酸中的至少一種；所述醇胺選自N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基乙醇胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、異丙醇胺、二乙醇胺、三異丙醇胺和一乙醇胺中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述表面活性劑為聚乙二醇。

7.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述無機磷酸鹽或無機磷酸氫鹽選自銨鹽、鉀鹽或鈉鹽。

8.根據權利要求1所述的銅鋁膜蝕刻液，其特征在于，所述無機酸選自磷酸、硫酸和硝酸中的至少一種。