[發明專利]晶圓輸送機構及晶圓測試設備

在審

• 申請號: 202110029137.X
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112820682A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 趙軼;舒貽勝;郭劍飛;姚建強;陳夏薇
• 申請（專利權）人: 杭州長川科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;G01N21/01;G01N21/95;G01R1/04;G01R31/01;G01R31/26
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 郭金鑫

1.一種晶圓輸送機構，其特征在于，包括：輸送基板(100)、預對位組件(200)和晶圓掃描組件(300)；

所述預對位組件(200)和所述晶圓掃描組件(300)分別安裝于所述輸送基板(100)。

2.根據權利要求1所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述晶圓掃描組件(300)設有讓位槽(301)，所述預對位組件(200)穿過所述讓位槽(301)。

3.根據權利要求1所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述預對位組件(200)包括：第一升降器件(210)、第一旋轉器件(220)、吸盤(230)和拍攝器件(240)；

所述第一升降器件(210)的固定端與所述輸送基板(100)連接，所述第一升降器件(210)的活動端與所述第一旋轉器件(220)連接，所述第一旋轉器件(220)自下而上穿過所述輸送基板(100)，所述吸盤(230)安裝于所述第一旋轉器件(220)的轉軸；

所述拍攝器件(240)安裝于所述輸送基板(100)，且所述拍攝器件(240)用于拍攝所述吸盤(230)吸附的晶圓。

4.根據權利要求3所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述晶圓掃描組件(300)包括：運動板件(310)、掃描光纖頭(320)和伸縮驅動缸(330)；

所述運動板件(310)滑動連接于所述輸送基板(100)，所述掃描光纖頭(320)安裝于所述運動板件(310)，所述伸縮驅動缸(330)的固定端與所述輸送基板(100)連接，所述伸縮驅動缸(330)的活動端與所述運動板件(310)連接。

5.根據權利要求1所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述晶圓輸送機構還包括：第一晶圓移動組件(400)和第二晶圓移動組件(500)，所述第一晶圓移動組件(400)和所述第二晶圓移動組件(500)分別安裝于所述輸送基板(100)。

6.根據權利要求5所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述第一晶圓移動組件(400)和所述第二晶圓移動組件(500)均包括：晶圓托板(410)、滑架(420)和驅動器件(430)；

所述晶圓托板(410)與所述滑架(420)連接，所述滑架(420)滑動連接于所述輸送基板(100)，所述驅動器件(430)與所述滑架(420)傳動連接。

7.根據權利要求1所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述晶圓輸送機構還包括位置調節組件(600)，所述位置調節組件(600)與所述輸送基板(100)連接。

8.根據權利要求7所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述位置調節組件(600)包括第二升降器件(610)，所述第二升降器件(610)與所述輸送基板(100)連接，且所述第二升降器件(610)用于驅動所述輸送基板(100)升降。

9.根據權利要求7所述的晶圓輸送機構，其特征在于，所述位置調節組件(600)包括第二旋轉器件(620)，所述第二旋轉器件(620)與所述輸送基板(100)連接，且所述第二旋轉器件(620)用于驅動所述輸送基板(100)繞z軸旋轉。

10.一種晶圓測試設備，其特征在于，包括：機架(700)、晶圓料盒(800)和權利要求1－9任一項所述的晶圓輸送機構，所述晶圓輸送機構和所述晶圓料盒(800)分別安裝于所述機架(700)。