[發明專利]磁懸浮隔振器

在審

• 申請號: 202110020894.0
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112594315A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 槃實科技（深圳）有限公司
• 主分類號: F16F6/00
• 分類號: F16F6/00;H02N15/00
• 代理公司: 深圳市辰為知識產權代理事務所(普通合伙) 44719
• 代理人: 鄒新華

本發明公開一種磁懸浮隔振器，該磁懸浮隔振器設于磁懸浮隔振系統的定子和動子之間，該磁懸浮隔振器包括：電磁永磁模塊和傳感器。所述電磁永磁模塊包括間隔設置的懸浮部和固定部，所述懸浮部通過永磁力和電磁力懸浮在所述固定部的磁場中；所述傳感器用于根據所述動子相對所述定子的振動情況調節所述固定部和所述懸浮部之間的電磁力。由于本發明提出的磁懸浮隔振器的電磁永磁模塊通過電磁力控制懸浮穩定并抑制振動，電磁力的大小可以根據振動情況調節，因此可以實現不同頻率的、快速響應的振動控制；由于電磁永磁模塊通過永磁力提供主要承載力，因此可以減小電磁力的損耗，從而能夠降低磁懸浮隔振器的能耗。

技術領域

本發明涉及精密隔振技術領域，特別涉及一種磁懸浮隔振器。

背景技術

本部分提供的僅僅是與本公開相關的背景信息，其并不必然是現有技術。

隨著高新技術產業的快速發展，對于精密位置控制的要求越來越高。在工業精密加工、檢測，尤其在半導體行業超高精度檢測及運動場景，對于外界的振動干擾尤其敏感。這類設備需要對地面振動及外界擾動進行抑制、隔絕，從而實現超高精度的運動控制。傳統的機械式被動隔振器、空氣彈簧等現有的隔振方式難以實現不同頻率的、快速響應的振動控制。

發明內容

本發明的主要目的是提出一種磁懸浮隔振器，旨在實現不同頻率、快速響應的振動控制的同時，降低磁懸浮隔振器的能耗。

為實現上述目的，本發明提出的磁懸浮隔振器包括：電磁永磁模塊，所述電磁永磁模塊包括間隔設置的懸浮部和固定部，所述懸浮部通過永磁力和電磁力懸浮在所述固定部的磁場中，所述固定部與所述定子固定連接，所述懸浮部與所述動子固定連接；以及，傳感器，所述傳感器用于根據所述動子相對所述定子的振動情況調節所述固定部和所述懸浮部之間的電磁力。

優選地，所述懸浮部包括第一永磁鐵；所述固定部包括鐵芯、線圈和第二永磁鐵，所述第二永磁鐵設于所述線圈的遠離所述第一永磁鐵的一側；所述線圈繞制于所述鐵芯的外周壁，所述第二永磁鐵和所述線圈均位于所述第一永磁鐵的磁場中。

優選地，所述懸浮部與所述固定部之間的永磁力被配置為與所述磁懸浮隔振器的載重相適配。

優選地，所述新型磁懸浮隔振器還包括電渦流阻尼模塊，所述電渦流阻尼模塊包括導體感應板和永磁陣列，所述導體感應板位于所述永磁陣列的磁場中，所述導體感應板和所述永磁陣列的其中之一固設于所述定子，所述導體感應板和所述永磁陣列的其中另一固設于所述動子。

優選地，所述永磁陣列為海爾貝克永磁陣列，所述海爾貝克永磁陣列包括多塊尺寸參數相同，充磁強度相同，充磁方向不同的永磁鐵。

優選地，所述磁懸浮隔振器為豎直方向上的單向隔振器；所述單向隔振器包括以豎直方向為對稱軸呈對稱分布的至少兩個電渦流阻尼模塊。

優選地，所述磁懸浮隔振器包括兩個所述電渦流阻尼模塊和一個所述電磁永磁模塊，兩個所述電渦流阻尼模塊對稱地分設于所述電磁永磁模塊的左右兩側。

優選地，所述磁懸浮隔振器包括兩個所述電渦流阻尼模塊和兩個所述電磁永磁模塊，兩個所述電渦流阻尼模塊關于豎直方向的對稱軸呈左右對稱，兩個所述電磁永磁模塊設于兩個所述電渦流阻尼模塊之間，且兩個所述電磁永磁模塊關于豎直方向的對稱軸呈左右對稱。

優選地，所述磁懸浮隔振器為多向隔振器，所述多向隔振器包括X向隔振器、Y向隔振器和Z向隔振器，所述X向隔振器和所述Y向隔振器呈相同結構設置；所述Z向隔振器包括至少一個電磁永磁模塊和至少兩個關于所述電磁永磁模塊呈對稱設置的電渦流阻尼模塊；所述X向隔振器包括至少一個電渦流阻尼模塊和偶數個關于所述電渦流阻尼模塊對稱的電磁永磁模塊。

優選地，所述X向隔振器包括一個所述電渦流阻尼模塊和兩個所述電磁永磁模塊，兩個所述電磁永磁模塊關于豎直方向的對稱軸呈左右對稱，所述電渦流阻尼模塊設于兩個所述電磁永磁模塊之間。