[發明專利]隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法

有效

• 申請號: 202110003571.0
• 申請日: 2021-01-04
• 公開（公告）號: CN112879687B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 薛濤;蔣曉旭;袁將峰;劉華明
• 申請（專利權）人: 華燦光電（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16L15/04
• 分類號: F16L15/04;G01M3/02;G01M3/20
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

本公開提供了一種隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法，屬于金屬有機化合物化學氣相沉淀設備領域。所述檢漏連接頭包括：安裝端子和接頭端子，所述安裝端子包括安裝主體，所述安裝主體上設有第一連接部以及用于套裝在隔離擋板的冷卻液管上的安裝部，所述接頭端子包括接頭主體，所述接頭主體上設有第二連接部，所述第一連接部與所述第二連接部可拆卸連接以使所述接頭端子套裝在所述冷卻液管的管口上，所述接頭主體上還設有用于將所述冷卻液管的管口與檢漏儀密封連通的接頭部。本公開能夠檢測Shutter上是否存在漏點。

技術領域

本公開涉及金屬有機化合物化學氣相沉淀設備領域，特別涉及一種隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法。

背景技術

LED(Light Emitting Diode，發光二極管)具有高效節能、綠色環保的優點，在交通指示，戶外全色顯示等領域有著廣泛的應用。尤其是利用大功率LED可實現半導體固態照明，有望成為新一代光源進入千家萬戶，引起人類照明史的革命。

目前，一般采用MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition，金屬有機化合物化學氣相沉淀)設備制備LED外延片。因為設備、工藝、生產等異常因素會導致在MOCVD設備生長的外延片的生長質量達不到標準要求。以MOCVD設備的反應腔內的Shutter(隔離擋板)為例，Shutter在長時間使用后，在Shutter內部的冷卻液通道內循環的冷卻水的水質會由弱堿性逐步變成酸性，酸性冷卻水將對Shutter造成腐蝕而出現漏點，Shutter從漏點泄漏冷卻水將影響外延片的生長質量，導致外延片的生長質量達不到標準要求而報廢。

發明內容

本公開實施例提供了一種隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法，能夠檢測Shutter上是否存在漏點。所述技術方案如下：

一方面，提供了一種隔離擋板的檢漏連接頭，所述檢漏連接頭包括：安裝端子和接頭端子，

所述安裝端子包括安裝主體，所述安裝主體上設有第一連接部以及用于套裝在隔離擋板的冷卻液管上的安裝部，

所述接頭端子包括接頭主體，所述接頭主體上設有第二連接部，所述第一連接部與所述第二連接部可拆卸連接以使所述接頭端子套裝在所述冷卻液管的管口上，所述接頭主體上還設有用于將所述冷卻液管的管口與檢漏儀密封連通的接頭部。

可選地，所述安裝部包括設置在所述安裝主體上的安裝塊，所述安裝塊上設有安裝孔，所述安裝孔的內壁設有用于與所述冷卻液管的外螺紋相匹配的內螺紋。

可選地，所述安裝塊的橫截面為直邊橢圓形。

可選地，所述第一連接部包括設置在所述安裝主體上的套筒，所述套筒的一端與所述安裝孔的一端連通以套設在所述冷卻液管上，所述套筒的內孔的軸線與所述安裝孔的軸線重合，所述套筒的外周壁設有外螺紋。

可選地，所述第二連接部包括設置在所述接頭主體上的連接塊，所述連接塊上設有可套設在所述冷卻液管上的連接孔，所述連接孔的內壁設有與所述套筒的外周壁上的外螺紋相匹配的內螺紋。

可選地，所述連接塊在所述連接孔的另一端的周壁上設有下陷臺階。

可選地，所述接頭部包括設置在所述接頭主體上的圓筒，所述圓筒的內孔與所述冷卻液管的管口相匹配，所述圓筒的內孔的一端與所述連接孔的一端連通，所述圓筒的內孔的軸線與所述連接孔的軸線重合，所述圓筒的內孔的另一端的外周壁上設有連接法蘭。

可選地，所述檢漏連接頭還包括密封圈，所述密封圈設置在所述套筒的端面上且與所述連接孔的內壁接觸。

可選地，所述套筒的另一端在所述套筒的內孔內壁沿軸線方向設有用于安裝所述密封圈的凸環。

另一方面，提供了一種隔離擋板的檢漏方法，所述檢漏方法包括：