[發(fā)明專利]加工裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110001830.6 | 申請日： | 2021-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN113146064A | 公開（公告）日： | 2021-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 小島芳昌;名嘉真惇;花島聰 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加工 裝置 | ||
本發(fā)明提供加工裝置，其能夠抑制成本的上升，并且能夠抑制加工精度的降低。加工裝置包含加工進給單元和控制單元。加工進給單元使保持單元沿著導(dǎo)軌在加工區(qū)域與利用相機對被加工物進行拍攝的拍攝區(qū)域之間移動，控制單元具有校正量計算部，在將卡盤工作臺進行加工進給并且利用切削單元在被加工物上制作出切削槽之后，利用相機對切削槽進行拍攝，該校正量計算部根據(jù)一條切削槽在加工進給方向上分開的兩個點的Y坐標(biāo)而計算Y軸方向的校正值或卡盤工作臺的校正角度，在拍攝區(qū)域中將卡盤工作臺進行加工進給時，在Y方向上校正相機的位置或者使卡盤工作臺按照校正角度旋轉(zhuǎn)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及加工裝置。
背景技術(shù)
已知有一種加工裝置，其沿著間隔道對硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、SiC(碳化硅)等在由間隔道劃分的區(qū)域內(nèi)形成有各種器件的器件晶片等被加工物進行加工(例如參照專利文獻1)。這種加工裝置是將切削刀具安裝于主軸而對間隔道進行切削的切削裝置，或者是將激光光線會聚至間隔道而形成激光加工槽或在內(nèi)部形成改質(zhì)層的激光加工裝置。
在上述加工裝置中，被加工物保持于卡盤工作臺，一邊沿著導(dǎo)軌在加工進給方向(X軸方向)上移動一邊被加工。此時，若使卡盤工作臺旋轉(zhuǎn)而使間隔道的朝向與X軸方向平行，則通過使卡盤工作臺移動而能夠進行沿著間隔道的加工。
專利文獻1：日本特開2017-199777號公報
在上述加工裝置中，卡盤工作臺通過使保持單元(移動基臺)沿著導(dǎo)軌移動的直動致動器而移動，但該直動致動器的直進性僅在除了兩端以外的保證范圍內(nèi)能保證，與保證范圍相比，在導(dǎo)軌的兩端附近時，直進性較差，在俯視時(從相機觀察)卡盤工作臺略微旋轉(zhuǎn)或在旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下進行加工進給。由此，當(dāng)在該兩端的區(qū)域?qū)Ρ患庸の镞M行對準(zhǔn)(確定加工位置)或進行切口檢查(測量、調(diào)整切割位置的位置偏移)時，擔(dān)心對錯誤的位置進行加工而使加工精度降低。但是，當(dāng)將保證范圍擴展至兩端或為了擴展保證范圍而使直動致動器的長度增長時，會使直動致動器的成本上升或使設(shè)置所需的面積增大。
發(fā)明內(nèi)容
由此，本發(fā)明的目的在于提供能夠抑制成本的上升，并且能夠抑制加工精度的降低的加工裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一個方式，提供加工裝置，其中，該加工裝置包含：保持單元，其具有對被加工物進行保持的能夠旋轉(zhuǎn)的卡盤工作臺；加工單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工；加工進給單元，其將該保持單元在X軸方向上進行加工進給；分度進給單元，其將該加工單元在Y軸方向上進行分度進給；相機，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行拍攝，能夠在分度進給方向上移動；以及控制單元，其對各構(gòu)成要素進行控制，該加工進給單元使該保持單元沿著導(dǎo)軌在加工區(qū)域與拍攝區(qū)域之間移動，在該加工區(qū)域，利用該加工單元對被加工物進行加工，在該拍攝區(qū)域，在沿X軸方向從該加工區(qū)域離開規(guī)定的距離的位置利用該相機對被加工物進行拍攝，該控制單元具有校正量計算部，在將該卡盤工作臺進行加工進給并且利用該加工單元在被加工物上制作出直線狀的加工痕之后，使該卡盤工作臺移動至該拍攝區(qū)域而利用該相機對該加工痕進行拍攝，該校正量計算部根據(jù)一條該加工痕在加工進給方向上分開的兩個點的Y坐標(biāo)而計算Y軸方向的校正值或該卡盤工作臺的校正角度，當(dāng)在該拍攝區(qū)域中將該卡盤工作臺進行加工進給時，在Y方向上對該相機的位置進行校正，或者使該卡盤工作臺按照該校正角度旋轉(zhuǎn)。
優(yōu)選，在所述加工裝置中，該卡盤工作臺在對被加工物進行保持的保持面上具有透明部件，該相機在夾著該透明部件而成為上下的位置具有該加工單元附近的第1相機和比該第1相機遠(yuǎn)離該加工單元的第2相機，該控制單元還具有坐標(biāo)存儲部，該坐標(biāo)存儲部將第2相機定位于該第1相機所拍攝的區(qū)域而利用X、Y坐標(biāo)來存儲該第1相機與該第2相機的位置偏移，該控制單元根據(jù)存儲于該坐標(biāo)存儲部的X、Y坐標(biāo)而將該第2相機定位于該第1相機所拍攝的區(qū)域。
優(yōu)選，在所述加工裝置中，還具有顯示單元，該顯示單元顯示該第1相機所拍攝的第1圖像和該第2相機所拍攝的第2圖像，在該顯示單元上，以使該第1圖像和該第2圖像中的一方的加工進給方向翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)重疊或并排顯示該第1圖像和該第2圖像。
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