[發(fā)明專(zhuān)利]工作臺(tái)系統(tǒng)、工作臺(tái)系統(tǒng)操作方法、檢查工具、光刻設(shè)備、校準(zhǔn)方法和裝置制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202080094891.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN115023654A | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-09-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃仰山;R·維色 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 | 分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 工作臺(tái) 系統(tǒng) 操作方法 檢查 工具 光刻 設(shè)備 校準(zhǔn) 方法 裝置 制造 | ||
1.一種工作臺(tái)系統(tǒng)，包括：
-工作臺(tái)，相對(duì)于參考物能夠移動(dòng)；
-軸承，用于支撐和引導(dǎo)所述工作臺(tái)在二維平面中相對(duì)于所述參考物的移動(dòng)；以及
-致動(dòng)器系統(tǒng)，用于相對(duì)于所述參考物向所述工作臺(tái)施加力，以在所述二維平面中相對(duì)于所述參考物移動(dòng)或定位所述工作臺(tái)，
其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)包括至少一個(gè)致動(dòng)器裝置，所述至少一個(gè)致動(dòng)器裝置被配置為具有：接合模式，在所述接合模式中所述致動(dòng)器裝置與所述工作臺(tái)接合以允許所述工作臺(tái)與所述致動(dòng)器裝置一起移動(dòng)；以及分離模式，在所述分離模式中所述致動(dòng)器裝置與所述工作臺(tái)分離，從而允許所述工作臺(tái)和所述致動(dòng)器裝置獨(dú)立移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述軸承是非接觸式或低摩擦軸承。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)的致動(dòng)器裝置包括夾具，以使所述致動(dòng)器裝置進(jìn)入所述接合模式。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述夾具是電磁夾具、靜電夾具、真空夾具或者利用范德華力的夾具。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)的致動(dòng)器裝置包括所述軸承的一部分，以在所述致動(dòng)器裝置處于分離模式時(shí)支撐和引導(dǎo)所述工作臺(tái)相對(duì)于所述致動(dòng)器裝置的移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)的至少一個(gè)致動(dòng)器裝置相對(duì)于所述參考物是不可平移的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)的至少一個(gè)致動(dòng)器裝置相對(duì)于所述參考物繞垂直于所述二維平面的旋轉(zhuǎn)軸線能夠旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)的至少一個(gè)致動(dòng)器裝置相對(duì)于所述參考物被布置為靜止的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中至少一個(gè)致動(dòng)器裝置被配置為在至少兩個(gè)不同方向上施加力，以在所述二維平面中相對(duì)于所述參考物移動(dòng)或定位所述工作臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述軸承是空氣軸承。
11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述夾具是電磁夾具，并且其中所述工作臺(tái)包括鐵磁材料以與所述電磁夾具協(xié)作。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述鐵磁材料在所述二維平面外的方向上是能夠變形的，以與處于所述接合模式的所述電磁夾具進(jìn)行摩擦接合。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器系統(tǒng)被配置為在所述致動(dòng)器裝置的所述接合模式下從下方與所述工作臺(tái)接合。
14.根據(jù)權(quán)利要求3、5和10所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述夾具被配置為通過(guò)克服由所述空氣軸承部分在所述致動(dòng)器裝置處施加的軸承力來(lái)使所述工作臺(tái)與所述致動(dòng)器裝置進(jìn)行摩擦接合。
15.根據(jù)權(quán)利要求3、5和10所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器裝置被配置為通過(guò)減小由所述空氣軸承部分在所述致動(dòng)器裝置處施加的軸承力來(lái)使所述工作臺(tái)與所述致動(dòng)器裝置進(jìn)行摩擦接合。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，還包括測(cè)量系統(tǒng)，用于測(cè)量所述工作臺(tái)在二維平面中相對(duì)于所述參考物的位置。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的工作臺(tái)系統(tǒng)，還包括控制單元，用于根據(jù)所述測(cè)量系統(tǒng)的輸出和設(shè)定點(diǎn)信號(hào)來(lái)控制所述致動(dòng)器系統(tǒng)。
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