[發明專利]組件處理與組件檢查

在審

• 申請號: 202080076277.6
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN114631176A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 斯蒂芬·菲格爾;夏拉海·拉克哈丹道
• 申請（專利權）人: 米爾鮑爾有限兩合公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京華夏正合知識產權代理事務所(普通合伙) 11017
• 代理人: 韓登營;徐洲

1.一種用于處理多個組件(C)的裝置，其中

-所述裝置被設計和配置為，處理具有多個側面(a、b、…)和/或所述多個側面(a、b、…)的邊緣的多個組件(C)，

-所述裝置具有至少一個布置在翻轉裝置上的各用于所述多個組件(C)中的一個的拾取工具，所述拾取工具被設計和配置為，在相應組件的多個頂面中的一個上拾取所述組件(C)，

-所述翻轉裝置被設計和配置為，

--使所述拾取工具在翻轉平面(WE)內圍繞翻轉軸(WA)旋轉，并且

--將位于所述拾取工具上的組件(C)從

---拾取位置可選地送入

---一個或多個定向位置、可選地送入

---一個或多個檢查位置、送往

---放下位置，及可選地送入

---彈出位置，其中

-所述裝置包括朝向所述拾取位置的用于組件儲庫的保持及進料裝置，其中，

-卸料裝置被設計和配置為，每次將所述多個組件(C)中的一個從處于所述保持及進料裝置中的組件儲庫朝處于所述拾取位置上的相應拾取工具輸送或送往所述拾取工具，以及

-所述保持及進料裝置被設計和配置為，將所述組件儲庫(BV)中的至少待釋放的相應組件(C)如此地相對處于所述拾取位置上的拾取工具對準，從而使得

-所述組件(C)的與所述翻轉平面(WE)成銳角的側面與所述翻轉平面(WE)成約30°至約60°的角，或者，

-所述組件(C)的與所述翻轉平面(WE)成鈍角的側面與所述翻轉平面(WE)成約120°至約150°的角。

2.根據權利要求1所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中，所述組件以所述多個側面(a、b，…)相對于所述翻轉平面(WE)成角度的定向從所述拾取位置被送往所述放下位置，并且所述組件(C)沿所述翻轉裝置的圓周的翻轉路徑或運輸路徑(WB)免受/不受光學組件檢查裝置的元器件的影響。

3.根據權利要求1或2所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中，兩個成像裝置及其照明裝置作為光學組件檢查裝置在每個檢查位置上如此地呈X布局分布，從而用第一照明裝置及第一成像裝置對所述組件(C)的第一側面進行檢查，并且用第二照明裝置及第二成像裝置對鄰接所述第一側面的第二側面進行檢查。

4.根據前述權利要求中任一項所述的用于處理多個組件(C)的裝置，

其中，所述拾取工具被配置及設計為拾取組件(C)，所述組件具有四個待進行光學檢查的側面，并且沿著所述組件(C)的所述運輸路徑(WB)布置有兩對光學組件檢查裝置，所述兩對光學組件檢查裝置以成角度布局布置在所述組件(C)的沿所述翻轉裝置的圓周的所述運輸路徑(WB)之外，所述組件(C)的所述運輸路徑(WB)大體呈圓弧段形。

5.根據權利要求2所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中，多個成像裝置各自關聯有與其相對布置的紅外線(IR)照明裝置作為用于紅外線透射光檢查的多個照明裝置，其中當帶有所述組件的拾取工具處于相應成像裝置的檢測區域內時，每個照明裝置均通過控制裝置激活，或者所述多個照明裝置被永久性激活。

6.根據前述權利要求中任一項所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中，所述定向位置用于，對所述組件在所述拾取工具上的位置及定向進行校正，其中設置有用于對準所述組件的裝置，其被設計和配置為，在至少一個與所述翻轉路徑(WB)成角度的定向上和/或在相對所述拾取工具的中心縱軸的旋轉方向上，相對所述拾取工具的中心對準所述組件。

7.根據前述權利要求中任一項所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中，用于對準的裝置具有兩個滑塊，所述兩個滑塊可相互靠近及相互遠離移動且包括相互定向的滑動區段，所述滑動區段被設計和配置為，至少部分地與處于所述拾取工具上的組件的兩個相對的第一側面或側面上接觸以將所述組件對準。

8.根據前述權利要求所述的用于處理多個組件(C)的裝置，其中所述滑塊被設計和配置為，在所述拾取工具保持住所述組件(C)的期間，在相對兩個滑動區段中的至少一個定向的方向上朝向檢查位置滑動或旋轉所述組件。