[發明專利]有全周范圍和大平面外平移位移的梳狀驅動MEMS諧振掃描儀

在審

• 申請號: 202080028009.7
• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN113711103A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 李海軍;托馬斯·D·王
• 申請（專利權）人: 密歇根大學董事會
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G02B26/08;A61B5/00;A61B6/00;G02B21/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 孫艷云;周艷玲

1.一種用于光學儀器中的掃描組合件，所述掃描組合件包括：

框架，其提供支撐；

反射器，其懸置于所述框架的內部區域中以使用所述光學儀器的光束進行掃描；

折疊梁彈簧組合件，其聯接到所述反射器且配置成提供所述反射器的偏轉以用于在平面外方向上進行光束掃描；

杠桿懸架組合件，其聯接到所述掃描組合件的框架且聯接到定位在所述杠桿懸架組合件與所述反射器之間的所述折疊梁彈簧組合件，所述杠桿懸架組合件配置成提供所述反射器的扭轉移動以用于在二維區域內進行光束掃描，所述杠桿懸架組合件具有杠桿臂；以及

梳狀驅動器組合件，其連接到所述杠桿懸架組合件以用于控制所述反射器的扭轉和/或平移移動。

2.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述水平懸架組合件包括第一杠桿懸架和第二杠桿懸架，所述第一杠桿懸架和所述第二杠桿懸架中的每一個具有杠桿臂，所述杠桿臂以機械方式聯接到所述掃描組合件的所述框架且聯接到所述折疊梁彈簧組合件，每一杠桿臂是靈活的以提供所述反射器的偏轉。

3.根據權利要求2所述的掃描組合件，其中所述第一杠桿懸架和所述第二杠桿懸架中的所述每一個包括H形扭轉彈簧。

4.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件包括第一折疊梁彈簧組合件和第二折疊梁彈簧組合件，所述第一折疊梁彈簧組合件和第二折疊梁彈簧組合件各自聯接到所述反射器的相對側，且各自配置成提供所述反射器在平面外方向上的偏轉。

5.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述第一折疊梁彈簧組合件和所述第二折疊梁彈簧組合件中的每一個包括通過連接臂連接到所述反射器的四個多匝中央夾緊式折疊梁彈簧。

6.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成以大于100°的掃描角進行光束掃描。

7.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成以大于200°的掃描角進行光束掃描。

8.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成以大于300°的掃描角進行光束掃描。

9.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成以大于400°的掃描角進行光束掃描。

10.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成以大于500°的掃描角進行光束掃描。

11.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成在所述平面外方向上進行范圍大于200μm的光束掃描。

12.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成在所述平面外方向上進行范圍大于300μm的光束掃描。

13.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成在所述平面外方向上進行范圍大于400μm的光束掃描。

14.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成在所述平面外方向上進行范圍大于500μm的光束掃描。

15.根據權利要求1所述的掃描組合件，其中所述折疊梁彈簧組合件和所述杠桿懸架組合件配置成在所述平面外方向上進行范圍大于600μm的光束掃描。