[發明專利]光設備、光檢測系統及其制造方法

在審

• 申請號: 202080023408.4
• 申請日: 2020-02-07
• 公開（公告）號: CN113614571A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 野村幸生;佃雅彥;稻田安壽
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G01S17/89
• 分類號: G01S17/89;G01S17/894;G02B6/122;G02B6/12;G02B6/124;G02B6/13;G02B6/34;G02B6/42;G01S7/481;G02F1/13;G02F1/1339;G02F1/295
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 安香子

1.一種光設備，其中，具備：

第1基板，具有沿著第1方向及與上述第1方向交叉的第2方向擴展的第1表面；

第2基板，具有與上述第1表面至少局部地對置的第2表面，上述第2表面具有與上述第1表面不同的面積；

至少1個光波導，在上述第1基板與上述第2基板之間沿著上述第1方向延伸；以及

多個彈性間隔件，配置于上述第1表面及上述第2表面的至少一方，包括第1部分及第2部分；

上述多個彈性間隔件的上述第1部分是位于上述第1基板與上述第2基板之間而且從與上述第1表面垂直的方向觀察時上述第1基板與上述第2基板重疊的區域中的至少1個彈性間隔件；

上述多個彈性間隔件的上述第2部分是位于從與上述第1表面垂直的方向觀察時上述第1基板與上述第2基板不重疊的區域中的至少1個彈性間隔件。

2.如權利要求1所述的光設備，其中，

還具備多個隔墻，該多個隔墻是在上述第1基板與上述第2基板之間在上述第2方向上排列的多個隔墻，各個隔墻沿著上述第1方向延伸；

上述多個彈性間隔件各自的彈性模量比上述多個隔墻各自的彈性模量小。

3.如權利要求2所述的光設備，其中，

上述多個隔墻被上述第1基板和上述第2基板直接或間接地夾持；

通過上述第1基板和上述第2基板的夾持，與上述第1表面垂直的方向上的上述多個彈性間隔件各自的變形率比上述垂直的方向上的上述多個隔墻各自的變形率大。

4.如權利要求1～3中任一項所述的光設備，其中，

上述多個彈性間隔件分別具有柱狀的形狀。

5.如權利要求1～4中任一項所述的光設備，其中，

上述至少1個光波導分別具備：第1部分，配置在上述第1基板與上述第2基板之間而且上述第1基板與上述第2基板重疊的區域中；以及第2部分，配置在上述第1基板與上述第2基板不重疊的區域中。

6.如權利要求5所述的光設備，其中，

上述至少一個光波導是多個光波導；

上述多個彈性間隔件的上述第2部分的至少一部分位于上述多個光波導各自的上述第2部分的周圍。

7.如權利要求5或6所述的光設備，其中，

上述至少一個光波導分別包括位于相鄰的兩個隔墻之間的部分，在上述部分具備第1光柵。

8.如權利要求5～7中任一項所述的光設備，其中，

上述至少一個光波導分別在上述第2部分具備第2光柵。

9.如權利要求1～8中任一項所述的光設備，其中，

還具備固定上述第1基板與上述第2基板之間的間隔的密封部件；

上述至少1個光波導具有1個以上的第1光波導與1個以上的第2光波導分別連接的構造；

當從與上述第1表面垂直的方向觀察時，上述密封部件包圍上述1個以上的第1光波導。

10.如權利要求9所述的光設備，其中，

上述1個以上的第1光波導分別包括沿著上述第1方向延伸的1個以上的電介質部件各自；

上述第1基板與上述第2基板之間且由上述密封部件包圍的區域被與上述1個以上的電介質部件相同的部件充滿。

11.如權利要求1～10中任一項所述的光設備，其中，

上述1個以上的第1光波導分別包括沿著上述第1方向延伸的1個以上的電介質部件各自；

上述光設備還具備2個鏡，該2個鏡分別位于上述第1基板與上述1個以上的電介質部件之間、以及上述第2基板與上述1個以上的電介質部件之間。

12.如權利要求11所述的光設備，其中，

上述多個彈性間隔件的上述第1部分的至少一部分位于被上述2個鏡夾著的區域的外側。