[發(fā)明專利]檢測稀有隨機(jī)缺陷的系統(tǒng)與方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202080014344.1
• 申請日: 2020-02-13
• 公開（公告）號: CN113424107B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G·科恩
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料以色列公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01N21/956
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

一種用于檢測稀有隨機(jī)缺陷的方法，所述方法可包括在基板的密集圖案中搜尋稀有隨機(jī)缺陷，其中稀有隨機(jī)缺陷(a)是納米級的，(b)以低于10supgt;?9/supgt;的缺陷密度出現(xiàn)在基板的功能性圖案中，以及(c)以高于10supgt;?7/supgt;的缺陷密度出現(xiàn)在密集圖案中；其中密集圖案為功能性圖案的密集表示，密集圖案不同于功能性圖案，不同之處在于(a)密集圖案的特征之間的距離以及(b)密集圖案的特征的寬度中的至少一者；以及基于搜尋的結(jié)果來估計(jì)功能性圖案內(nèi)的稀有隨機(jī)缺陷的發(fā)生。

相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求于2019年2月25日提交的美國臨時(shí)申請?zhí)?2/810,116的權(quán)益，出于所有目的將所述申請的全部內(nèi)容以引用方式并入本文中。

背景技術(shù)

極紫外線(EUV)平版印刷術(shù)會產(chǎn)生稀有隨機(jī)缺陷。每個(gè)基板僅可允許很少稀有隨機(jī)缺陷。可以以各種方式并通過各種實(shí)體(例如，基板的制造商、消費(fèi)者、基板的設(shè)計(jì)者等等)來定義每個(gè)基板所允許的稀有隨機(jī)缺陷的數(shù)目。

比率稀有的隨機(jī)缺陷可具有不超過10^-9的缺陷密度。稀有隨機(jī)缺陷是納米級的(具有納米級尺寸)，并且可能包括切口、線條之間不想要的橋、缺失點(diǎn)、點(diǎn)之間不想要的橋等等。

稀有隨機(jī)缺陷是納米級的，并且太小以至于無法通過光學(xué)工具檢測到。稀有隨機(jī)缺陷的稀有本質(zhì)需要帶電粒子束工具來掃描整個(gè)基板，以便檢測稀有隨機(jī)缺陷，因?yàn)轭A(yù)期每個(gè)晶片僅存在很少稀有隨機(jī)缺陷。掃描整個(gè)基板是耗時(shí)且不切實(shí)際的。

越來越需要提供一種高效、快速且可靠的方式來檢測稀有隨機(jī)缺陷。

附圖說明

在本說明書的結(jié)論部分中特別指出并明確要求保護(hù)被視為本發(fā)明的主題。然而，當(dāng)結(jié)合附圖閱讀時(shí)，通過參考以下詳細(xì)描述可以最佳地理解本發(fā)明的組織和操作方法兩者、以及本發(fā)明的目標(biāo)、特征和優(yōu)點(diǎn)，在附圖中：

圖1示出基板的示例；

圖2示出不同類型的稀有隨機(jī)缺陷；

圖3示出方法的示例；

圖4示出方法的示例；以及

圖5示出系統(tǒng)的示例。

具體實(shí)施方式

在以下詳細(xì)描述中，為了提供對本發(fā)明的透徹理解，闡述諸多特定細(xì)節(jié)。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，可在沒有這些特定細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐本發(fā)明。在其他情況下，未詳細(xì)描述公知方法、過程和部件，以免混淆本發(fā)明。

在本說明書的結(jié)論部分中特別指出并明確要求保護(hù)被視為本發(fā)明的主題。然而，當(dāng)結(jié)合附圖閱讀時(shí)，通過參考以下詳細(xì)描述可以最佳地理解本發(fā)明的組織和操作方法兩者、以及本發(fā)明的目標(biāo)、特征和優(yōu)點(diǎn)。

將理解，為了說明的簡單和清楚，附圖中所示的元件未必按比例繪制。例如，為了清楚起見，元件中的一些元件的尺寸可能相對于其他元件被放大。另外，在認(rèn)為適當(dāng)?shù)那闆r下，可在附圖之間重復(fù)附示出記，以指示對應(yīng)的或類似的元件。

因?yàn)楸景l(fā)明的所示實(shí)施例的大部分可使用本領(lǐng)域技術(shù)人員所已知的電子部件和電路來實(shí)現(xiàn)，所以為了理解并了解本發(fā)明的基本概念且以免混淆或干擾本發(fā)明的教示，將不以比如以上所示的被視為必要的程度更大的程度來解釋細(xì)節(jié)。

說明書中對方法的任何引用應(yīng)在經(jīng)必要修改后應(yīng)用于能夠執(zhí)行所述方法的系統(tǒng)，且應(yīng)在經(jīng)必要修改后應(yīng)用于計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)為非暫時(shí)性的且存儲有用于執(zhí)行所述方法的指令。

說明書中對系統(tǒng)的任何引用應(yīng)在經(jīng)必要修改后應(yīng)用于可由所述系統(tǒng)執(zhí)行的方法，且應(yīng)在經(jīng)必要修改后應(yīng)用于計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)為非暫時(shí)性的且存儲有可由所述系統(tǒng)執(zhí)行的指令。